ZTL TECH 现更名为 Zintilon。我们已更新名称和徽标,以迎接新的开始。 立即检查

洁净室机械支撑架数控加工

支撑架是精密加工的结构件,其支撑框架结构牢固地安装在其中,同时吸收各种洁净室设备(例如半导体设备、分析工具和自动化系统)的振动。Zintilon CNC 加工的支撑架在洁净室中备受青睐,其焊接和表面处理精度高。从 1 级到 10,000 级洁净室都能确保设备可靠运行和污染管理。
  • 加工复杂的框架几何形状和安装接口
  • 公差严格,高达±0.010英寸
  • 精密焊接、表面处理和洁净室兼容材料
  • 支持快速成型和全面生产
  • ISO 9001 认证的洁净室设备制造


行业领军 15,000多家企业

为什么选择半导体公司
选择 Zintilon

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提高生产力

工程师无需处理公司不成熟的供应链或缺乏供应链人员,从而节省时间并快速获得零件。

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10 倍更严格的公差

Zintilon 可以加工公差严格达 +/- 0.0001 英寸的零件,与其他领先服务相比,精度高 10 倍。

world

世界级品质

Zintilon 为领先的航空航天企业提供航空航天零部件,经认证机构验证符合 ISO9001 质量标准。此外,我们的网络还包括 AS9100 认证的制造合作伙伴(如有需要)。

从原型设计到批量生产

在世界各地,Zintilon CNC 机器为半导体设备、洁净室设施建设客户以及精密仪器制造客户提供框架和结构部件支持。

原型支撑框架

实现紧密公差、精密支撑框架原型,以无缝精度复制您的最终设计,用于负载能力测试、尺寸稳定性确认和洁净室兼容性更换,以匹配您的全面生产。


关键点

  • 高精度快速成型

  • 严格的公差(±0.010英寸)

  • 尽早测试设计、结构完整性和粒子生成

3 Axis CNC Machined Stainless Steel Passivation

EVT——工程验证测试

快速迭代支撑框架设计,验证其符合所有结构和洁净室规范。尽早识别潜在问题点,以便更顺利地过渡到全洁净室制造。

  • 验证原型功能

  • 快速设计迭代

  • 确保生产准备就绪

Anodized Aluminum 1024x536

DVT——设计验证测试

确认支撑框架符合所需尺寸并使用不同材料执行设计的结构功能,以在批量生产之前评估设计精度和设备的最佳支撑。

  • 确认设计的完整性和刚性

  • 测试多种材料和配置

design aluminium

PVT——生产验证测试

评估大规模生产的支撑框架,并在全面生产之前解决潜在的生产挑战,以验证效率和一致性。

  • 测试大规模生产能力

  • 尽早发现并修复流程问题

  • 确保一致的零件质量

Anodized Titanium Fastener

批量生产

确保按时、精准地交付半导体工厂和受控环境设施所需的产品。提供适用于洁净室的支撑框架。

  • 持续、大批量生产

  • 精密加工,达到洁净室质量

  • 严格的质量控制,快速的周转

production

简化采购
新能源产业

我们的航空工业零部件制造能力得到了多家上市公司的验证。我们为包括钛合金和铝合金在内的航空航天零件提供多种制造工艺和表面处理。

探索其他半导体元件

浏览我们全系列的 CNC 加工半导体组件,这些组件经精心打造,经久耐用,公差极小。从精密工装夹具零件到真空室和晶圆处理系统,我们提供专为先进半导体生产量身定制的解决方案。

洁净室支撑架加工能力

洁净室机械支撑架的数控加工由我们的数控加工中心提供,并配备了专业的洁净室数控机械师。洁净室数控加工支撑架的数控加工由我们的数控加工中心提供,并配备了专业的洁净室数控机械师,用于制造洁净室数控加工支撑架。这也适用于设备洁净室基座、带集成龙门盖的隔振框架以及龙门框架的安装接口。每个部件都经过精心设计和制造,以确保最佳的结构刚度和尺寸稳定性。

制造包括负载测试和平整度检查,并集成数控铣削、数控TIG焊接、表面磨削以及用于洁净室污染控制和设备安装的电解抛光。所有结构和洁净室基座均由洁净室数控加工支撑框架支撑,每个支撑框架均采用与洁净室兼容的结构设计。
milling

数控加工

sheet metal

钣金加工

edm

线切割加工

casting

金属铸造

航空航天
材料和饰面

材料种类
我们提供各种材料,包括金属、塑料和复合材料。
结束
我们提供卓越的表面处理,以增强需要光滑或纹理表面的应用的零件耐用性和美观性。

支撑架材料

我们数控加工车间的机加工车间配备了超过15种适用于洁净室的金属和结构材料,有助于快速制作洁净室数控加工支撑架的原型。这些材料结构性能优良,且与建筑结构兼容,有助于支撑数控加工设备。常见问题解答:洁净室应用的支撑架
Aluminum Image

机械加工性和延展性好。铝合金具有良好的强度重量比、高导热性和导电性、低密度和天然的耐腐蚀性。

价格筛选
$$$
交期
< 7 天
公差
低至±0.003 毫米
最大零件尺寸
3000 * 2200 * 1100毫米
最小零件尺寸
2 * 2 * 2毫米
Steel Image

钢是一种坚固、多用途且耐用的铁和碳合金。钢坚固耐用。抗拉强度高、耐腐蚀、耐热和耐火,易于成型。其应用范围从建筑材料和结构部件到汽车和航空航天部件。

价格筛选
$$$$$
交期
< 10 天
公差
精确至±0.001 毫米(铣削)
最大零件尺寸
3000 * 2200 * 1100毫米
最小零件尺寸
2 * 2 * 2毫米
Stainless steel Image

不锈钢合金具有高强度、延展性、耐磨性和耐腐蚀性。 它们可以轻松焊接、加工和抛光。 不锈钢的硬度和成本均高于铝合金。

价格筛选
$$$
交期
< 7 天
公差
低至±0.005 毫米
最大零件尺寸
3000 * 2200 * 1100毫米
最小零件尺寸
2 * 2 * 2毫米
Titanium Image

钛是一种先进材料,具有优异的耐腐蚀性、生物相容性和强度重量特性。 这种独特的特性使其成为应对医疗、能源、化学加工和航空航天行业面临的许多工程挑战的理想选择。

价格筛选
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交期
< 10 天
公差
低至±0.005 毫米
最大零件尺寸
3000 * 2200 * 1100毫米
最小零件尺寸
2 * 2 * 2毫米
Bronze Image

高度耐海水腐蚀。 该材料的机械性能不如许多其他可加工金属,因此最适合 CNC 加工生产的低应力部件。

价格筛选
$$$$$
交期
< 10 天
公差
低至±0.005 毫米
最大零件尺寸
3000 * 2200 * 1100毫米
最小零件尺寸
2 * 2 * 2毫米
Brass Image

黄铜的机械强度更高,并且具有较低摩擦的金属特性,使得 CNC 加工黄铜非常适合需要耐腐蚀性的机械应用,例如船舶工业中遇到的情况。

价格筛选
$ $ $
交期
< 10 天
公差
精确至±0.005mm
最大零件尺寸
3000 * 2200 * 1100毫米
最小零件尺寸
2 * 2 * 2毫米
Copper Image

在 CNC 铣削材料方面,很少有金属具有铜那样的导电性。 该材料的高耐腐蚀性有助于防止生锈,其导热特性有利于数控加工成型。

价格筛选
$ $ $
交期
< 10 天
公差
低至±0.005 毫米
最大零件尺寸
3000 * 2200 * 1100毫米
最小零件尺寸
2 * 2 * 2毫米
Magnesium Image

由于纯镁的机械强度较低,所以主要采用镁合金。 镁合金密度低但强度高、刚性好。 韧性好,减震能力强。 热容低,凝固速度快,压铸性能好。

价格筛选
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交期
< 7 天
公差
低至±0.005 毫米
最大零件尺寸
3000 * 2200 * 1100毫米
最小零件尺寸
2 * 2 * 2毫米
Iron Image

铁是工业部门不可缺少的金属。 铁与少量碳钢合金化,磁化后不易退磁,是优良的硬磁材料,也是重要的工业材料,也用作人造磁的主要原料。

价格筛选
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交期
< 10 天
公差
低至±0.005 毫米
最大零件尺寸
3000 * 2200 * 1100毫米
最小零件尺寸
2 * 2 * 2毫米
Zinc Image

锌在室温下是一种稍脆的金属,去除氧化后具有闪亮的灰色外观。

价格筛选
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交期
< 10 天
公差
低至±0.005 毫米
最大零件尺寸
3000 * 2200 * 1100毫米
最小零件尺寸
2 * 2 * 2毫米
让我们共同创造伟大事业

常见问题解答:洁净室应用的支撑框架

支撑架是用于支撑半导体加工设备、计量仪器和自动化系统的结构平台,在颗粒控制设置下进行支撑。支撑架的类型多种多样,包括:带有可调节调平支脚、可支撑500至5000公斤负载的设备基座;用于高架物料搬运和机器人系统的龙门架;将设备模块集成到集群工具配置中的工具架;带有被动或主动阻尼以实现亚微米级稳定性的隔振平台;允许用户重新配置布局的模块化铝挤压框架;用于简化公用设施布线和排气的架空服务框架;专为地震带设计的抗震框架;活动地板支撑系统;以及配备洁净室兼容脚轮且符合ISO五级或更高颗粒物要求的移动设备推车。

采用 6061-T6 和 6063-T6 铝型材的轻质结构,可减少 40% 至 60% 的地板承重,具有卓越的耐腐蚀性,模块化组装采用 T 型槽连接,无需工具即可重新配置,表面采用易于阳极氧化的光滑处理,颗粒生成量低于每立方英尺 0.1 个,且成本低廉。304、304L 和 316L 不锈钢使洁净室框架能够支撑超过 3000 公斤的重型设备负载,对洁净室消毒剂和工艺化学品具有卓越的耐化学性,表面采用电抛光处理,符合一级洁净室要求。粉末涂层钢材强度高且经济实惠,光滑的密封表面采用耐用的聚合物涂层,可防止颗粒生成和腐蚀。

铝制支架采用数控加工工艺制造,包括将表面加工至相对于设备占地面积0.010英寸的平整度,攻丝螺栓孔,使接口位置公差达到0.005英寸,以及数控表面磨削,以形成平坦的参考框架。边缘精加工包括去除框架边缘的毛刺,以防止操作员受伤并最大限度地减少碎屑的产生。采用全熔透焊缝的紧密不锈钢框架采用TIG焊接、攻丝和数控表面磨削工艺,以形成平坦的参考框架。将平整度控制在0.010英寸以内,可将设备占地面积作为均匀负载分布的衡量标准,而将螺栓孔位置公差控制在0.005英寸以内,有助于实现接口的标准化。

我们实现了支撑框架制造公差:安装表面平整度为 0.010 英寸,整体框架尺寸为 ± 0.020 英寸,这有利于与设施集成,相对安装表面之间的平行度为 0.010 英寸,垂直构件的间距为 ± 0.015 英寸,以控制安装表面的位置。

当然!我们提供洁净室布局设计和设备集成验证的快速原型制作以及结构负载测试;为定制研究设施和中试生产线提供每年生产5至50个框架的小批量生产;以及为商业半导体工厂和生产洁净室提供每年生产数百至数千个框架的中批量生产。这些框架均使用精密水平仪和坐标测量机(CMM)进行全面尺寸检测,并进行负载测试验证、表面光洁度验证、符合ISO 14644标准的颗粒生成测试以及材料认证。

所有组件均按照 ISO 9001 质量管理体系制造,具有完整的材料可追溯性、针对设计规范的尺寸验证、结构负载测试文档、表面光洁度验证,并符合 ISO 14644 洁净室标准,确保在 1 级至 10,000 级环境中每立方英尺产生的颗粒低于 0.1 个,结构完整性可支持 500 至 5000 公斤的设备负载,并在 15 年以上的连续运行中具有耐腐蚀性。

这些包括对铝进行透明阳极氧化,其中涂层厚度为 10 至 25 微米,用于防腐​​蚀和光滑无颗粒表面,如 ASTM B580 所述,硬质阳极氧化可防止接触表面磨损,对不锈钢进行电解抛光,去除 10 至 30 微米,实现 Ra 以下 0.4 微米,钝化以兼容洁净室 1 级,采用洁净室白色或 ESD 安全颜色的粉末涂层,从而提供耐用的密封表面,以及专门的制造后表面处理,如喷丸以保持均匀性,粘贴洁净室兼容的乙烯基包装以进行颜色编码并避免油漆逸气,化学镀镍以防止腐蚀,以及与洁净室兼容的背胶乙烯基包装用于颜色编码而不会产生油漆逸气。

对于由铝挤压制成的标准框架(包括设备基座),完成时间为12-18个工作日。这包括机械加工、焊接和表面处理。集成公用设施的复杂不锈钢龙门系统需要6-9周。对于设备模型,原型框架可在8-12天内完成,从而简化了工厂布局验证流程。

是的,我们提供定制的超稳定隔振框架,其稳定性可达0.1微米,尤其适用于电子显微镜和其他计量设备。我们为大型工艺设备制造高承载力框架,其结构支撑力超过10,000公斤。我们为地震带制造设施制造符合IBC抗震设计的抗震框架。我们制造模块化、可重构的框架,可实现快速工具更换;我们还制造集成服务框架,用于分配燃气、去离子水和电力协调等公用设施。我们为静电敏感设备提供带结构接地的防静电框架;我们还定制设计外部洁净组装框架,其所有紧固件均符合ISO 5级环境标准;这些框架可与HEPA风扇过滤器结合使用,可提供局部洁净空气;我们还提供带锁定脚轮的移动框架,用于灵活的洁净室布局。

底部安装面加工平整,与设备占地面积的误差不超过0.010英寸(约0.010英寸)。这确保了负载分布的一致性,并避免了设备内部应力集中和挠曲变形,从而避免了精密平台和晶圆处理系统错位。错位会影响工艺的均匀性。螺栓孔图案加工精度在±0.005英寸(约0.005英寸)以内。此精度有助于正确安装设备并实现标准化安装接口,从而避免现场修改和安装延误。通过结构刚性保持设备和工艺腔体的对准,在额定负载下,挠曲变形不超过0.5毫米。缺陷生成率保持在每立方英尺0.1个颗粒以下,符合ISO 5级洁净室标准,表面光滑。不锈钢和阳极氧化铝的扩散表面Ra值超过0.4微米,有助于实现颗粒生成率。晶圆传输和自动化过程中对动态设备稳定性的干扰通过战略性加固措施进行克服,包括减震和交叉支撑。表面处理和高品质材料有助于洁净室结构的外观和完整性,保持消毒异丙醇、过氧化氢和季铵化合物。
合理的设计为半导体制造、制药制造、生物技术研究和精密装配应用提供可靠的设备支持,其负载能力为 500 至 5000 公斤,尺寸稳定性保持在 0.05 毫米以内,洁净室兼容性达到 ISO 1 级至 10,000 级颗粒水平,连续运行下的使用寿命超过 15 年。
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