ZTL TECH 现更名为 Zintilon。我们已更新名称和徽标，以迎接新的开始。 立即检查
半导体工具结构支架数控加工
结构支架是精密加工的安装部件，可为半导体制造设备中的工艺室、机器人系统和设备模块提供刚性支撑、精确对准和模块化连接。Zintilon 专注于结构支架的数控加工，采用先进的铣削和表面处理技术，以实现卓越的尺寸精度、承载能力和洁净室兼容性，从而实现晶圆加工系统中可靠的设备集成。
- 加工复杂的支架几何形状和安装接口
- 公差严格，高达±0.005英寸
- 精密铣削、应力消除和洁净室兼容的精加工
- 支持快速成型和全面生产
- ISO 9001认证的半导体设备制造
行业领军 15,000多家企业
为什么选择半导体公司
选择 Zintilon
提高生产力
工程师无需处理公司不成熟的供应链或缺乏供应链人员，从而节省时间并快速获得零件。
10 倍更严格的公差
Zintilon 可以加工公差严格达 +/- 0.0001 英寸的零件，与其他领先服务相比，精度高 10 倍。
世界级品质
Zintilon 为领先的航空航天企业提供航空航天零部件，经认证机构验证符合 ISO9001 质量标准。此外，我们的网络还包括 AS9100 认证的制造合作伙伴（如有需要）。
从原型设计到批量生产
Zintilon 为全球半导体设备制造商、集群工具供应商和晶圆厂自动化系统提供结构支架和相关安装组件的 CNC 加工。
原型结构支架
获取高精度结构支架原型，准确复制您的最终设计。在全面生产之前，测试负载能力、验证对准精度并确保其完全贴合。
- 高精度快速成型
- 严格的公差（±0.005英寸）
- 尽早测试设计、结构完整性和接口兼容性
EVT——工程验证测试
快速迭代结构支架原型，以满足所有负载和对准要求。及早发现潜在问题，确保顺利过渡到全面半导体制造。
- 验证原型功能
- 快速设计迭代
- 确保生产准备就绪
DVT——设计验证测试
通过采用不同的材料，确认支架的尺寸和结构性能，确保量产前的设计精度和设备支撑平衡。
- 确认设计完整性和负载能力
- 测试多种材料和配置
- 确保生产就绪性能
PVT——生产验证测试
评估大规模结构支架生产并在全面生产之前发现可能出现的制造问题，以保持一致性和效率。
- 测试大规模生产能力
- 尽早发现并修复流程问题
- 确保一致的零件质量
批量生产
快速精准地制造洁净室环境所需的结构支架。可靠地安装半导体工具，并及时交付给晶圆厂集成商。
- 持续、大批量生产
- 精密加工，确保结构质量
- 严格的质量控制，快速的周转
半导体结构支架加工能力
我们利用先进的多轴数控加工设备、坐标测量工具以及经验丰富的半导体加工团队，为半导体工具提供数控结构支架的切割服务。我们设计和制造腔体安装支架、机器人支撑支架和阀组支座，这些支架具有关键的定位功能，可确保先进的结构支架兼具刚性和精准的对准度，同时方便双向和平面扳手操作，从而最大限度地减少颗粒的产生。
除了符合洁净室标准外，我们还在设备集成过程中融入了消除应力退火、表面处理、负载测试和尺寸验证等工艺。每个结构支架均经过严格加工，以超越标准，确保在半导体制造环境中不间断运行。支架材质包括铝合金（6061-T6、7075-T6）、不锈钢（304、316L）或阳极氧化铝。
除了符合洁净室标准外，我们还在设备集成过程中融入了消除应力退火、表面处理、负载测试和尺寸验证等工艺。每个结构支架均经过严格加工，以超越标准，确保在半导体制造环境中不间断运行。支架材质包括铝合金（6061-T6、7075-T6）、不锈钢（304、316L）或阳极氧化铝。
结构支架材料
作为数控加工的执行者，我们积极支持半导体工具的结构支架加工。我们拥有15种以上的结构金属和洁净室兼容合金，支持快速成型和精密安装组件制造，并具有最佳的强度重量比。
常见问题解答：半导体应用的结构支架
结构支架是用于精确安装、牢固连接并确保半导体处理系统中设备模块之间对准的部件。这些支架包括：带隔振功能的腔室安装支架，用于支撑重达100至1000公斤的工艺模块；用于定位晶圆处理系统（重复精度为0.1毫米）的机器人支撑支架；以及用于组合气动和真空分配系统的阀组支架。此外，还有通过运动耦合连接集群工具模块的设备接口支架；用于支撑快速循环传输室的负载锁安装支架；用于布置公用设施和排气管道的架空服务支架；以及具有IBC抗震等级和抗震支架的特殊支架，这些支架可通过精确垫片进行调节对准；以及用于快速重新配置工具的模块化快速拆卸支架。
6061-T6 和 7075-T6 铝合金以其轻量化的结构、优异的刚性部件加工性能、集成式和复杂设计特性、良好的洁净室耐化学腐蚀性能、良好的热传导性能以及极高的性价比，使其拥有强大的动力。304 和 316L 不锈钢具有耐工艺化学品和消毒剂腐蚀的性能，在承受重载（超过 500 公斤）时仍能保持结构刚性，可实现 Ra < 0.4 微米的电抛光表面处理，并具有非磁性，使用寿命超过 20 年。阳极氧化铝表面经过强化处理，具有增强的哑光效果和更高的耐腐蚀性能，表面光滑洁净，符合 ISO 14644 认证，可在洁净室中实现无颗粒状态，并在需要时降低电导率。
我们采用多轴数控铣削技术，制造带有减重槽、加强筋和安装凸台的支架，并优化强度重量比。坐标钻孔技术使标准设备支架和运动支架的螺栓位置精度达到±0.005英寸。定位销孔的镗孔精度达到0.01毫米，确保可重复对准。攻丝、凹陷区域的锪孔加工以及用于平齐紧固件控制的锪孔加工，使公制螺钉孔的安装螺钉孔和凹陷区域更加圆润。应力消除退火、表面磨削和电机磨削完善了我们的控制功能。
对于结构支架，我们实现了以下尺寸和公差：运动耦合参考面的平面度在±0.005英寸以内，支架安装面的垂直度在0.010英寸以内，定位销孔的定位度在±0.002英寸以内，表面粗糙度在3.2 Ra微米以内。支架的整体尺寸保持在±0.015英寸以内，以便集成到系统中；安装螺钉孔的平衡度在±0.005英寸以内，作为标准设备接口的控制；运动耦合和安装表面的止动面在3.2 Ra微米以内，也用于平衡结构。
当然，我们通过有限元分析和结构负载测试为半导体工具的开发进行快速成型，为专用工艺设备和研发系统进行小批量生产，生产 10 到 100 个支架，并为商用半导体工具进行中到大批量生产，每年生产数百到数千个支架，所有支架都经过全面尺寸检查和负载测试，以验证设计容量、表面光洁度，并进行粒子生成测试以验证是否符合 ISO 14644 标准，并对材料进行认证，对成分进行精确到元素级别验证
所有组件均按照 ISO 9001 质量管理体系制造，具有完整的可追溯性、所有设计参数和尺寸的验证、结构负载文档、表面光洁度验证，并符合 SEMI 设备标准，负载能力在 50 至 2000 公斤之间，设备定位精度为 0.1 毫米，每立方英尺产生的颗粒低于 0.1 个颗粒，在整个连续工厂运行期间的使用寿命为 15 年。
表面处理包括：根据 ASTM B580 标准对铝进行透明阳极氧化，达到 15 至 25 微米的涂层厚度，以实现防腐蚀和无颗粒表面；对安装界面进行硬质阳极氧化，实现耐磨性，硬度超过 65 HRC；对不锈钢进行电解抛光，去除 10 至 30 微米，实现 Ra 低于 0.4 微米，符合 1 级洁净室要求；对密封表面进行洁净室白色粉末涂层；以及特殊处理，包括增强不锈钢耐腐蚀性的钝化、均匀外观的喷丸处理以及光学设备非反射表面的黑色阳极氧化。
交货时间差异很大。标准托槽通常需要 10-16 个工作日，而复杂托槽则需要 4-6 周。与此同时，由于托槽的密合度测试可以在 7-10 天内完成，因此在等待期间，您可以进行设备设计的下一阶段！
当然。我们致力于开发一系列定制重型支架，用于支撑重达 1500 公斤、位移保持 0.1 毫米的半导体处理室。我们还生产具有三接触点几何形状的运动支架，以实现 0.01 毫米的重复定位精度，从而实现精密光学堆叠。除了 10 Hz 以上的振动隔离和阻尼以实现 1% 的传输降低外，我们还致力于开发集成 IBC 4 区弹性体地震阻尼的抗震支架。其他设计包括模块化快速拆卸支架，可在 30 分钟内完成工具重新配置，以及特殊设计，包括旨在消除模块间热传递的集成隔热支架、可调节位置的支架以及旨在支持电缆管理、公用设施布线和重新映射横截面公用设施布线的集成结构支架。
安装孔不会出现放置错误，使设备与设定的接口（包括 SEMI 标准封装）对齐。这避免了现场改动，使安装非常快捷。0.005 英寸以内的平坦参考表面检查接触和均匀分布负载的表面，防止臂与设备错位。错误的结构支架会导致对准变得有害。0.005 英寸以内的平坦参考表面检查接触和均匀分布负载的表面，防止臂与设备错位。错误的结构支架会导致对准变得有害。集成的结构刚性与图案化肋条和优化的横截面可在晶圆机器人和加工运动期间保持设备在额定负载下停止放气。光滑的表面处理，Ra 级低于 3.2 微米，每立方英尺颗粒率低于 0.1 个，符合 ISO 5 级洁净室标准，污染会导致产量损失。优质材料在 15 至 30 度的热循环中提供尺寸稳定性，并耐洁净室消毒剂的腐蚀。
可靠的设备安装支持在结构完整性范围内保持 0.1 毫米以内的对准的半导体制造，负载能力根据应用从 50 到 2000 公斤，洁净室兼容性符合 ISO 1 级至 100 级颗粒要求，并且在处理先进逻辑、内存和功率半导体器件的 200 毫米、300 毫米和 450 毫米晶圆厂中使用寿命超过 15 年。
可靠的设备安装支持在结构完整性范围内保持 0.1 毫米以内的对准的半导体制造，负载能力根据应用从 50 到 2000 公斤，洁净室兼容性符合 ISO 1 级至 100 级颗粒要求，并且在处理先进逻辑、内存和功率半导体器件的 200 毫米、300 毫米和 450 毫米晶圆厂中使用寿命超过 15 年。
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