ZTL TECH är nu Zintilon. Vi har uppdaterat vårt namn och vår logotyp för en nystart. Kolla nu
CNC-bearbetning av vakuumkammarhus för halvledarverktyg
Vakuumkammarhus är specialbearbetade höljen som används för att hålla och bibehålla ultrahögt vakuum för plasmaprocessorer, tunnfilmsdeponering och jonimplantation i halvledartillverkningsutrustning. På Zintilon fokuserar vi på högkvalitativt CNC-bearbetade vakuumkammarhus. Vi använder komplexa fleraxliga fräsningstekniker för att säkerställa exceptionella tätningsytor, portjustering och fräskammarstyvhet för läckagetäthet och enhetlighet i integrerade tillverkningsanläggningar för renrumstillverkning.
- Bearbetning för komplexa kammargeometrier och tätningsytor
- Snäva toleranser upp till ±0.005 tum
- Precisionsfräsning, tätningsytor och vakuumläckagetestning
- Stöd för snabb prototypframställning och fullskalig produktion
- ISO 9001-certifierad tillverkning av halvledarutrustning
Förtroende av 15,000+ företag
Varför halvledarföretag
Välj Zintilon
Ökad produktivitet
Ingenjörer får tiden tillbaka genom att inte ta itu med omogna leveranskedjor eller brist på bemanning i leverantörskedjan i deras företag och får snabbt delar.
10x snävare toleranser
Zintilon kan bearbeta delar med toleranser så snäva som +/- 0.0001 i -10x större precision jämfört med andra ledande tjänster.
Kvalitet i världsklass
Zintilon tillhandahåller flyg- och rymddelar till ledande flygföretag, verifierade att de uppfyller kvalitetsstandarden ISO9001 av en certifierad registrator. Dessutom inkluderar vårt nätverk AS9100-certifierade tillverkningspartners vid behov.
Från prototyptillverkning till massproduktion
Bearbetning av maskeringskomponenter i kammarhöljen och vakuumintegrerade moduler för plasmaprocessorer och wafertillverkningsanläggningar utrustade med halvledartillverkning för riktade leveranskedjor och inom specifika globala marknadsområden.
Prototyp av vakuumkammarhus
Replikera din design inom ingenjörskonst och erhåll högprecisionsprototyper av vakuumkammarhus för att testa vakuumintegritet och inriktning av portar i det automatiserade vakuumsystemet och för bedömning av kontamineringskontrollåtgärder i systemet för att certifiera designen innan fullskalig produktion påbörjas.
Nyckelord:
Snabb prototypframställning med hög precision
Snäva toleranser (±0.005 tum)
Testdesign, vakuumprestanda och tidig tätning
Nyckelord:
Snabb prototypframställning med hög precision
Snäva toleranser (±0.005 tum)
Testdesign, vakuumprestanda och tidig tätning
EVT
Utveckla designmodeller för vakuumkammarstrukturer. Prioritera identifiering av potentiella problem tidigt för att säkerställa att designkonflikter undviks under uppskalningsprocessen.
Nyckelord:
Validera prototypens funktionalitet
Snabba designiterationer
Säkerställ produktionsberedskap
Nyckelord:
Validera prototypens funktionalitet
Snabba designiterationer
Säkerställ produktionsberedskap
DVT
Dimensionsnoggrannhet, vakuumfunktionalitet och höljets prestanda korsvalideras på olika material och processer för att bekräfta designanpassning, processintegration och miljökontroll före produktion.
Nyckelord:
Bekräfta designintegritet och tätning
Testa flera material och konfigurationer
Säkerställ produktionsklar prestanda
Nyckelord:
Bekräfta designintegritet och tätning
Testa flera material och konfigurationer
Säkerställ produktionsklar prestanda
PVT
Bedöm förmågan till storskalig produktion av vakuumkammare och höljen, och identifiera luckor i PB-tillverkningen för att realisera första produktionen och bygga sekvensering för kontroll.
Nyckelord:
Testa storskalig produktionskapacitet
Upptäck och åtgärda processproblem tidigt
Säkerställ jämn delkvalitet
Nyckelord:
Testa storskalig produktionskapacitet
Upptäck och åtgärda processproblem tidigt
Säkerställ jämn delkvalitet
Massproduktion
Tillverkar högkvalitativa, vakuumförseglade kammarhöljen enligt ett fastställt schema i enlighet med förväntningarna från tillverkare av halvledarutrustning och leverantörer av processverktyg. Säkerställer exakt och läckagesäker drift.
Nyckelord:
Konsekvent produktion i hög volym
Precisionsbearbetning för vakuumintegritet
Snabb leveranstid med strikt kvalitetskontroll
Nyckelord:
Konsekvent produktion i hög volym
Precisionsbearbetning för vakuumintegritet
Snabb leveranstid med strikt kvalitetskontroll
Förenklad inköp för
halvledarindustrin
Vår förmåga att tillverka delar av flygindustrin har verifierats av många börsnoterade företag. Vi tillhandahåller en mängd olika tillverkningsprocesser och ytbehandlingar för flyg- och rymddelar inklusive titanlegeringar och aluminiumlegeringar.
Utforska andra halvledarkomponenter
Bläddra bland vårt kompletta urval av CNC-frästa halvledarkomponenter, tillverkade för hållbarhet och ultrasnäva toleranser. Från precisionsverktyg och fixturdelar till vakuumkammare och waferhanteringssystem levererar vi lösningar skräddarsydda för avancerad halvledarproduktion.
Bearbetningskapacitet för halvledarvakuumkammarhus
Med hjälp av avancerade CNC-bearbetningscentra för fleraxliga enheter, läckagetestning av helium och erfarna halvledaroperatörer tillhandahåller vi CNC-bearbetning av vakuumkammarhus för halvledarverktyg. För processkamrar, lastlås och histogram av överföringsmoduler med tätningsytor utförs komponentutveckling för vakuum, plasmainneslutning och kontamineringskontroll. Vi utför bearbetning av fleraxliga tätningsytor, fräsning, portintegration, elektropolering för optimal O-ringstätning och minskad avgasning, följt av läckagetestning av helium och dimensionskontroller. Vi bearbetar vakuumkammarhus från olika legeringar, inklusive 6061-T, 5083, 304L rostfritt stål, 316L, anodiserad aluminium och andra material för att säkerställa vakuumintegritet och korrosionsbeständighet under plasmaexponering vid halvledarbearbetning, och för att på ett adekvat sätt uppfylla UHV-kraven för finvakuumbearbetning.
Aerospace
Material och ytbehandlingar
material
Vi tillhandahåller ett brett utbud av material, inklusive metaller, plaster och kompositer.
finish
Vi erbjuder överlägsen ytfinish som förbättrar delarnas hållbarhet och estetik för applikationer som kräver släta eller strukturerade ytor.
Specialistindustrier
du får gärna betona det i ritningarna eller kommunicera med försäljningen.
Material för vakuumkammarhöljen
Vår CNC-verkstad stöder snabb prototypframställning och precisionsmodulproduktion med över 12 vakuumkompatibla metaller, andra vakuumkompatibla speciallegeringar och en mängd olika vakuumkammarhus för bearbetning av halvledarverktyg med jämn kvalitet och ultrahög vakuumprestanda vid finbearbetning.
På grund av den låga mekaniska styrkan hos rent magnesium används främst magnesiumlegeringar. Magnesiumlegering har låg densitet men hög hållfasthet och god styvhet. Bra seghet och stark stötdämpning. Låg värmekapacitet, snabb stelningshastighet och bra pressgjutningsprestanda.
Pris
$$$$
lead Time
<7 dagar
Toleranser
Ner till ±0.005 mm
Max delstorlek
3000 * 2200 * 1100 mm
Min delstorlek
2 * 2 * 2 mm
Stål är en stark, mångsidig och hållbar legering av järn och kol. Stål är starkt och hållbart. Hög draghållfasthet, korrosionsbeständighet värme och brandbeständighet, lätt att formas och formas. Dess applikationer sträcker sig från byggmaterial och strukturella komponenter till fordons- och flygkomponenter.
Pris
$$$$$
lead Time
<10 dagar
Toleranser
Ner till ±0.001 mm (fräsning)
Max delstorlek
3000 * 2200 * 1100 mm
Min delstorlek
2 * 2 * 2 mm
Låt oss bygga något bra tillsammans
Vanliga frågor: Vakuumkammarhus för halvledarapplikationer
Fleraxlig CNC-fräsning skapar kammarprofiler tillsammans med monteringsflänsar, visningsportar och servicedörrar som en integrerad del av kammaren. Precisionsborrmaskiner dimensionerar och öppnar portar med stor diameter och bibehåller koncentriciteten inom 0.005 tum för standardiserade vakuumflänsar som överensstämmer med ISO-, KF- och ConFlat-standarder. Planfräsmaskiner uppnår den planhet och ytfinish som krävs på O-ringstätningsytorna inom 0.005 tum planhet och en Ra-ytfinish under 1.6 mikron. Koordinatborrning uppnår den noggrannhet som krävs för positionering av mönster för bulthål inom ±0.005 tum för montering av flänsarna. Monteringsgängor skapas genom gängfräsning och elektropolering översätts till att rostfritt stål uppnår ett Ra under 0.4 mikron genom att ta bort 10 till 50 mikron yta för att minska avgasning och partikelvidhäftning. Distorsion minskas genom spänningsavlastande glödgning.
Egenskaperna hos aluminium 6061-T6, 5083 och 5086 inkluderar lätt konstruktion som minskar belastningen på golvet och utrymmet, vilket bidrar till snabb temperaturkontroll vilket ger utmärkt värmeledningsförmåga på 167 watt per meter Kelvin och värmeledningsförmåga, minskade kostnader för större processkamrar, enkel bearbetning för komplex portintegration och monteringsfunktioner för vakuumkammare i konstruktionsarbeten, mycket låga avgasningshastigheter under 10⁻⁸ torrliter per sekund per kvadratcentimeter efter nödvändig bearbetning, samt kostnader för stora processkamrar. Rostfritt stål 304L och 316L ger maximal styrka för balanserade tryck- och atmosfärsdifferentialkrafter och enastående motståndskraft mot plasmafluor och klor i vakuumkammarmaterialen, ultralåg avgasning under 10⁻⁹ torrliter per sekund i elektropolerade vakuumkammare som kan bakas till 450°C för ultrahöga vakuumprocesser. Anodiserad aluminium uppvisar utmärkt korrosions-, nötningsbeständighet och skapande av hårda ytor vid O-ringsgränssnitt, elektrisk isolering för RF-drivna kammare och vakuumkammarmaterial i kombination med polytetrafluoretenpackningar.
Vakuumkammarhöljen är helt integrerade höljen för halvledartillverkningsutrustning som ger en kontrollerad vakuummiljö för waferbearbetning. Processkammarhöljen kan inkludera olika tomma eller integrerade vakuumplasmaetsnings-, deponerings- eller jonimplantationsmoduler som arbetar vid vakuumnivåer på 10⁻³ till 10⁻⁹ Torr. Olika kryopumpshöljen kan konfigureras för att ge ultrahöga vakuumförhållanden under 10⁻⁸ Torr. Andra moduler kan inkludera plasmainneslutningskammare för reaktiv jonetsning och fysisk ångdeponering, samt analyskammare för mätutrustning. Specialmoduler för waferbearbetning på 200 mm, 300 mm och 450 mm inkluderar avgasningskammare, snabba termiska bearbetningskapslingar, förrengöringskammare och kryopumpskammare.
Ja, vi erbjuder snabb prototypframställning för att verifiera passform och testmontering, med CAD-till-del-kapacitet samma dag tillgänglig för kritiska projekt. För anpassade automationsceller och forskningsplattformar utför vi lågvolymproduktion på 20 till 500 fästen. För standardiserade robotmodeller utför vi högvolymproduktion på tusentals till tiotusentals fästen årligen, vilket inkluderar fullständig dimensionsinspektion, planhetsverifiering och materialcertifieringar.
Tätningsskydd säkerställer att tätningsytans planhet är inom 0.005 tum över flänsytorna. Därmed säkerställs att tätningsytorna uppnår läckagehastigheter under 10⁻⁹ standard cc per sekund helium. O-ringsspårens dimensioner för tätningsytor uppnår läckagehastigheter under 10⁻⁹ standard cc per sekund helium.
Vi erbjuder heltäckande ytbehandlingslösningar skräddarsydda för flyg- och rymdindustrins behov:
Anodisering (typ II och typ III)
Passivering för korrosionsbeständighet
Precisionspolering för aerodynamiska ytor
Anpassade skyddande beläggningar och termiska barriärer
Anodisering (typ II och typ III)
Passivering för korrosionsbeständighet
Precisionspolering för aerodynamiska ytor
Anpassade skyddande beläggningar och termiska barriärer
Har du några fler frågor?
Senaste blogginlägg
Hur man väljer mellan filéer och avfasningar
Juli 13, 2026
