Anpassade waferchuckar CNC-bearbetning för halvledarindustrin

Aluminiumnitrid (AlN) har en enastående värmeledningsförmåga på 170 watt per meter Kelvin, vilket möjliggör snabb utjämning av waferns temperaturgradient inom 1 °C över 300 mm diameter, vilket gör det enklare att kontrollera de elektrostatiska chuckspänningarna till 2000 V. Den har hög dielektrisk hållfasthet, ultralåg partikelgenerering och nästan absolut plasmaresistens mot fluor- och klorkemikalier. Medan aluminiumoxid (Al₂O₃) har en tillräcklig värmeledningsförmåga på 30 watt per meter Kelvin, gör dess överlägsna mekaniska hållfasthet, utmärkta plasmaresistens, lägre kostnad jämfört med AlN och beprövade tillförlitlighet under etsnings- och deponeringsprocesser det till ett rimligt val. Aluminium 6061-T6 har god värmeledningsförmåga på 167 watt per meter Kelvin, utmärkt bearbetbarhet för komplexa kylkanaler, kostnadseffektivitet för aluminiumchuckar, tillräcklig vakuumkompatibilitet med korrekt anodisering och tillräcklig värmeledningsförmåga för kylsystemet. Kompositmaterial är utformade för att synkronisera den termiska expansionen med kiselwafern för att förhindra böjning. Värmeutvidgningskoefficienten är 2.6 ppm per Kelvin.

För anpassade waferchuckar används ultraprecisionsslipning för att uppnå 0.0001 tums planhet vid waferns kontaktyta på en 300 mm skiva och en total tjockleksvariation på mindre än 0.002 tum. För precisionsläppning utvecklar vi ytor med en mikrofinish på mindre än 0.1 mikron Ra för att kontakta wafers och för att generera partiklar som kontaktar ytor. För våra diamantslipmaskiner och diamantslipning för keramiska chuckar designar vi komplexa profiler. För CNC-fräsning implementerar vi designer för kylkanaler, vakuumspår och monteringsfunktioner. För koordinatborrning produceras vakuumportar och lyftstiftshål borras med en positionsnoggrannhet på ±0.003 tum. Integrerade elektroder är inbäddade för resistiva värmare eller elektrostatiska element. För vakuumspår kontrollerar vi djupet inom ± 0.001 för en jämn hållkraft. Plasmasprutbeläggning ger yttriumoxid eller aluminiumoxid som ett skyddande lager. Alla kritiska operationer utförs i ISO klass 5 renrum.

Alternativen inkluderar anodisering av aluminium för skydd mot korrosion, pulverlackering för miljöskydd i anpassade färger där korrosionsbeständigheten överstiger 1000 timmar i saltspruttester, zinkplätering på stål för rostbeständighet, svartoxidbeläggning på stål för icke-reflekterande ytor i visionapplikationer, pärlblästring för enhetlig matt textur och kromatkonverteringsbeläggning för elektrisk ledningsförmåga, medan ultraplatta monteringsytor tillverkas med en planhet på 0.003 tum för precisionsslipning.

Ja. Vi erbjuder flexibla tillverkningsmöjligheter inklusive:
Snabb prototypframställning för designvalidering
Lågvolymproduktion för specialiserade applikationer
Högvolymsproduktion med konsekvent kvalitetskontroll
Fullständig strukturell och dimensionell verifiering i varje steg