CNC-bewerking van aangepaste waferklauwen voor de halfgeleiderindustrie

Aluminiumnitride (AlN) heeft een uitstekende thermische geleidbaarheid van 170 watt per meter Kelvin, wat zorgt voor een snelle egalisatie van de wafertemperatuurgradiënt tot binnen 1 °C over een diameter van 300 mm. Dit maakt het gemakkelijker om de elektrostatische spanspanningen tot 2000 V te regelen. Het materiaal heeft een hoge diëlektrische sterkte, een extreem lage deeltjesgeneratie en een bijna absolute plasmabestendigheid tegen fluor- en chloorverbindingen. Hoewel aluminiumoxide (Al₂O₃) een adequate thermische geleidbaarheid van 30 watt per meter Kelvin heeft, maken de superieure mechanische sterkte, uitstekende plasmabestendigheid, lagere kosten ten opzichte van AlN en bewezen betrouwbaarheid tijdens ets- en depositieprocessen het een redelijke keuze. Aluminium 6061-T6 heeft een goede thermische geleidbaarheid van 167 watt per meter Kelvin, uitstekende bewerkbaarheid voor complexe koelkanalen, kosteneffectiviteit voor aluminium spantangen, voldoende vacuümcompatibiliteit met correcte anodisatie en een adequate thermische geleidbaarheid voor het koelsysteem. Composietmaterialen zijn ontworpen om de thermische uitzetting te synchroniseren met de siliciumwafer om kromtrekken te voorkomen. De thermische uitzettingscoëfficiënt is 2.6 ppm per Kelvin.

Voor op maat gemaakte waferklauwplaten wordt ultraprecies vlakslijpen gebruikt om een ​​vlakheid van 0.0001 inch (0,0001 inch) te bereiken op het contactoppervlak van de wafer op een schijf van 300 mm en een totale diktevariatie van minder dan 0.002 inch (0,002 inch). Voor precisie-lappen ontwikkelen we oppervlakken met een microfinish van minder dan 0.1 micron Ra (Ra) om contact te maken met wafers en deeltjes te genereren op de contactoppervlakken. Voor onze diamantslijpmachines en diamantslijpmachines voor keramische klauwplaten ontwerpen we complexe profielen. Voor CNC-frezen implementeren we ontwerpen voor de koelkanalen, vacuümgroeven en montagemogelijkheden. Voor coördinatenboringen worden vacuümpoorten geproduceerd en worden de gaten voor de liftpen geboord met een positienauwkeurigheid van ± 0.003 inch (0,003 inch). Geïntegreerde elektroden voor weerstandsverwarmers of elektrostatische verwarmers. Voor vacuümgroeven regelen we de diepte binnen ± 0.001 inch (0,001 inch) voor een consistente houdkracht. Plasmaspuitcoating zorgt voor een beschermende laag van yttriumoxide of aluminiumoxide. Alle kritische bewerkingen worden uitgevoerd in cleanrooms van ISO-klasse 5.

Opties zijn onder meer anodiseren op aluminium voor bescherming tegen corrosie, poedercoaten voor milieubescherming in aangepaste kleuren wanneer de corrosiebestendigheid meer dan 1000 uur bedraagt ​​bij zoutsproeitesten, verzinken op staal voor roestbestendigheid, zwarte oxidecoating op staal voor niet-reflecterende oppervlakken in visuele toepassingen, parelstralen voor een uniforme matte textuur en chroomconversiecoating voor elektrische geleiding, terwijl voor nauwkeurig slijpen ultravlakke montageoppervlakken worden gemaakt met een vlakheid van 0.003 inch.

Ja. Wij bieden flexibele productiemogelijkheden, waaronder:
Snelle prototyping voor ontwerpvalidatie
Productie in kleine volumes voor gespecialiseerde toepassingen
Productie van grote volumes met consistente kwaliteitscontrole
Volledige structurele en dimensionale verificatie in elke fase