ZTL TECH heet nu Zintilon. We hebben onze naam en logo geüpdatet voor een frisse start. Nu controleren

Chemische toediening blokkeert CNC-bewerking voor halfgeleiderprocessen

Precisiebewerkte vloeistofdistributiecomponenten voor chemische toevoerblokken worden gebruikt in apparatuur voor de productie van halfgeleiders om een ​​hoge toevoer van ultrazuivere chemicaliën, oplosmiddelen en procesgassen mogelijk te maken, zonder verontreiniging. Zintilom verkoopt CNC-gestuurde chemische verdeelblokken, vloeistofdistributiesystemen en procesgastoevoersystemen voor optimale stroomregeling, chemische compatibiliteit en duurzaamheid voor belangrijke natte verwerkings- en chemische distributietoepassingen in de halfgeleiderindustrie.
  • Bewerking voor nauwkeurige stromingskanaalgeometrieën en chemische routing
  • Nauwe toleranties tot ±0.0003 inch voor lekvrije verbindingen
  • Precisieboren, frezen en chemisch bestendige oppervlakteafwerking
  • Ondersteuning voor rapid prototyping en grootschalige productie
  • ISO 9001-gecertificeerde productie met expertise in halfgeleiderprocessen


Vertrouwd door 15,000+ bedrijven

Waarom halfgeleiderbedrijven
Kies Zintilon

prductivity

Verhoogde Productiviteit

Ingenieurs besparen tijd doordat ze niet te maken krijgen met onvolgroeide toeleveringsketens of een tekort aan personeel in de toeleveringsketen binnen hun bedrijf. Ze krijgen onderdelen sneller geleverd.

10x

10x nauwere toleranties

Zintilon kan onderdelen bewerken met toleranties die zo nauw zijn als +/- 0.0001 inch. Dit is 10x nauwkeuriger dan andere toonaangevende bedrijven.

world

Kwaliteit van wereldklasse

Zintilon levert lucht- en ruimtevaartonderdelen voor toonaangevende lucht- en ruimtevaartondernemingen, waarvan is geverifieerd dat ze voldoen aan de ISO9001-kwaliteitsnorm door een gecertificeerde registrar. Ook omvat ons netwerk AS9100-gecertificeerde productiepartners, indien nodig.

Van prototype tot massaproductie

Zintilon levert wereldwijd ontworpen en ontwikkelde componenten, die voldoen aan de 9001-normcertificering, aan fabrikanten van halfgeleiderapparatuur, leveranciers van chemische afgiftesystemen en integratoren van natte verwerkingsgereedschappen.

Prototype chemische afgifteblokken

Ontvang zorgvuldig vervaardigde prototypes van chemische toevoerblokken op basis van uw definitieve ontwerp. Test en verifieer voorafgaand aan de grootschalige productie van halfgeleiderverwerkingsapparatuur de stroomverdeling, chemische compatibiliteit, interfaceverbindingen en lekkages.

Sleutelpunten:

  • Snelle prototyping met hoge precisie

  • Nauwe toleranties (±0.0003 inch)

  • Test vroegtijdig de stromingspaden, chemische bestendigheid en afdichtingsprestaties


3 Axis CNC Machined Stainless Steel Passivation

EVT – Technische validatietest

Alle aspecten van stroomregeling, chemische compatibiliteit en contaminatiepreventie moeten worden begrepen om door te kunnen gaan met de prototypeconstructie van het chemische toevoerblok. Identificeer drukval en lekkageproblemen vroegtijdig om een ​​soepele verdeling van de chemicaliën te garanderen, aangezien prototypeblokken worden aangepast om te voldoen aan de stroomuniformiteit en aansluitvereisten.

Sleutelpunten:

  • Valideer prototypefunctionaliteit

  • Snelle ontwerpiteraties

  • Zorg voor productiegereedheid


Anodized Aluminum 1024x536

DVT – Ontwerpvalidatietest

Verken een verscheidenheid aan materialen en stroomkanaalconfiguraties om de prestaties van uw chemische afgifteblok te evalueren met betrekking tot stromingsnauwkeurigheid en chemische bestendigheid. Een dergelijke analyse definieert de prestaties van het gehele halfgeleiderprocessysteem in termen van de beoogde chemische zuiverheid en afgiftenauwkeurigheid.

Sleutelpunten:

  • Bevestig de ontwerpintegriteit en stroomspecificaties

  • Test meerdere materialen en configuraties

  • Zorg voor productieklare prestaties


design aluminium

PVT – Productievalidatietest

Evalueer de uitdagingen om uniformiteit en een efficiënte doorstroming van het productieproces te bereiken, om de productiecapaciteit te bepalen voor de chemische leveringsblokken die op grote schaal moeten worden gesynthetiseerd, voordat de volledige productie wordt gestart. Zorg voor een uniforme productie van de blokken om de efficiëntieverschillen in het proces op te lossen.

Sleutelpunten:

  • Test grootschalige productiecapaciteit

  • Procesproblemen vroegtijdig detecteren en oplossen

  • Zorg voor een consistente onderdeelkwaliteit


Anodized Titanium Fastener

Massaproductie

Produceer tijdig en in grote hoeveelheden leveringsblokken om te voldoen aan de behoeften van halfgeleiderprocessen en om deze te leveren aan de fabrikanten van de apparatuur en de distributeurs van de chemische leveringssystemen.

Sleutelpunten:

  • Consistente productie in grote volumes

  • Precisiebewerking voor halfgeleiderkwaliteit

  • Snelle doorlooptijd met strikte kwaliteitscontrole


production

Vereenvoudigde sourcing voor
de halfgeleiderindustrie

Onze mogelijkheden voor de productie van onderdelen voor de luchtvaartindustrie zijn geverifieerd door veel beursgenoteerde bedrijven. Wij bieden een verscheidenheid aan productieprocessen en oppervlaktebehandelingen voor onderdelen voor de lucht- en ruimtevaart, waaronder titaniumlegeringen en aluminiumlegeringen.

Ontdek andere halfgeleidercomponenten

Bekijk ons ​​complete aanbod van CNC-gefreesde halfgeleidercomponenten, ontworpen voor duurzaamheid en uiterst nauwkeurige toleranties. Van precisiegereedschappen en bevestigingsonderdelen tot vacuümkamers en waferhandlingsystemen: wij leveren oplossingen op maat voor geavanceerde halfgeleiderproductie.

Halfgeleiderprocessen, chemische leveringsblokken, bewerkingsmogelijkheden

Met onze flowtesttechnologie en CNC-multimachines bieden we chemische doseerblokken voor nauwkeurige bewerking voor halfgeleiders, met kwaliteitsborging in elk van de blokken die in miljoenen cycli en in elk onderdeel moeten worden gedoseerd, inclusief het enkelkanaals verdeelstuk, de multipoort distributieklep en de geïntegreerde klepregelsystemen met flowcontrolontwerp met betrouwbare prestaties om de chemische zuiverheid en een laag dood volume te garanderen. We houden ons bezig met ultrazuivere chemische bewerking van halfgeleiders, waaronder: ultraprecieze gefreesde waterleidingen in vloeistofkamers met een diameteruniformiteit van ±0.025 mm; microfrezen van complexe, bruisende waterleidingen met een wanddikte van ±0.050 mm; chemisch bestendige NPT-, BSPT- en metrische draadverbindingen met een spoednauwkeurigheid van ±0.015 mm; en deskundige, gespecialiseerde oppervlakteafwerking om een ​​ultrahoge zuiverheid en deeltjesvrije werking te garanderen. We voeren ook validaties van chemische compatibiliteit en druktesten uit. Elk chemisch afgifteblok is vervaardigd uit PEEK (polyetheretherketon), dat mechanisch robuust en breed chemisch compatibel is; PTFE (polytetrafluorethyleen) is bestand tegen agressieve oplosmiddelen; PFA (perfluoralkoxy) is volledig chemisch inert en biedt optische helderheid; en andere gespecialiseerde materialen die bestand zijn tegen sterke zuren en basen, zoals PVDF (polyvinylideenfluoride) en ultrazuiver roestvrij staal 316L met elektrolytisch polijsten, of Hastelloy C-276, dat bestand is tegen waterstoffluoride met andere gemengde zuuroplossingen. Wij garanderen gewichtsverandering tijdens chemische immersie in het laboratorium en een verzegeling van < 1.0% van de testresultaten binnen 30 dagen. En in tegenstelling tot andere bedrijven beloven wij geen He-lekkage tijdens de tests, operationele drukken tussen 5 en 150 psi en operationele temperaturen tussen omgevingstemperatuur en 150 °C. Geen tests met metaalverontreinigingen van meer dan 1 ppb, wat noodzakelijk is voor ultrazuivere kiem- en rookgassen voor halfgeleiders.
milling

CNC Machining

sheet metal

Sheet Metal Fabrication

casting

Metaal gieten

LUCHT- EN RUIMTEVAART
Materialen en afwerkingen

Materialen
Wij bieden een breed scala aan materialen, waaronder metalen, kunststoffen en composieten.
Finishes
Wij bieden superieure oppervlakteafwerkingen die de duurzaamheid en esthetiek van onderdelen verbeteren voor toepassingen die gladde of gestructureerde oppervlakken vereisen.

Specialistische industrieën

U kunt dit benadrukken in de tekeningen of met de verkoopafdeling communiceren.

Materialen voor chemische afgifteblokken

Onze CNC-machinewerkplaats, die gebruikmaakt van chemische toevoerblokken, bevat meer dan 12 ultrazuivere polymeren, fluorpolymeermaterialen en chemisch resistente legeringen voor rapid prototyping, precisiehalfgeleiderprocessen en voor de continue productie en kwaliteitsborging volgens de SEMI F57- en cleanroomnormen. Chemisch resistente polymeren en legeringen zijn essentieel voor rapid prototyping en precisiehalfgeleiderprocessen. Meer dan een dozijn polymeren en legeringen voldoen op een behoorlijk niveau aan deze functies, evenals aan de andere vereisten.
Stainless steel Image

Roestvaststalen legeringen hebben een hoge sterkte, ductiliteit, slijtage en corrosieweerstand. Ze kunnen gemakkelijk worden gelast, machinaal bewerkt en gepolijst. De hardheid en de kosten van roestvrij staal zijn hoger dan die van aluminiumlegering.

Prijs
$$$
Levertijd
<7 dagen
Toleranties
Tot ±0.005 mm
Maximale onderdeelgrootte
3000 * * 2200 1100 mm
Minimale onderdeelgrootte
2 * * 2 2 mm
Aluminum Image

Hoge bewerkbaarheid en ductiliteit. Aluminiumlegeringen hebben een goede sterkte-gewichtsverhouding, hoge thermische en elektrische geleidbaarheid, lage dichtheid en natuurlijke corrosiebestendigheid.

Prijs
$$$
Levertijd
<7 dagen
Toleranties
Tot ±0.003 mm
Maximale onderdeelgrootte
3000 * * 2200 1100 mm
Minimale onderdeelgrootte
2 * * 2 2 mm
Titanium Image

Titanium is een geavanceerd materiaal met uitstekende corrosieweerstand, biocompatibiliteit en sterkte-gewichtseigenschappen. Deze unieke reeks eigenschappen maakt het een ideale keuze voor veel van de technische uitdagingen waarmee de medische, energie-, chemische verwerkings- en lucht- en ruimtevaartindustrie te maken heeft.

Prijs
$ $ $
Levertijd
<10 dagen
Toleranties
Tot ±0.005 mm
Maximale onderdeelgrootte
3000 * * 2200 1100 mm
Minimale onderdeelgrootte
2 * * 2 2 mm
Steel Image

Staal is een sterke, veelzijdige en duurzame legering van ijzer en koolstof. Staal is sterk en duurzaam. Hoge treksterkte, corrosiebestendigheid, hitte- en brandwerendheid, gemakkelijk te vormen en te vormen. De toepassingen variëren van bouwmaterialen en structurele componenten tot auto- en ruimtevaartcomponenten.

Prijs
$$$$$
Levertijd
<10 dagen
Toleranties
Tot ±0.001 mm (frezen)
Maximale onderdeelgrootte
3000 * * 2200 1100 mm
Minimale onderdeelgrootte
2 * * 2 2 mm
Bronze Image

Zeer goed bestand tegen zeewatercorrosie. De mechanische eigenschappen van het materiaal zijn inferieur aan die van veel andere bewerkbare metalen, waardoor het het beste is voor componenten met lage spanning die zijn geproduceerd door CNC-bewerking.

Prijs
$$$$$
Levertijd
<10 dagen
Toleranties
Tot ±0.005 mm
Maximale onderdeelgrootte
3000 * * 2200 1100 mm
Minimale onderdeelgrootte
2 * * 2 2 mm
Brass Image

Messing is mechanisch sterker en de metaaleigenschappen met lagere wrijving maken het CNC-bewerking van messing ideaal voor mechanische toepassingen die ook corrosiebestendigheid vereisen, zoals die voorkomen in de maritieme industrie.

Prijs
$ $ $
Levertijd
<10 dagen
Toleranties
Tot ±0.005 mm
Maximale onderdeelgrootte
3000 * * 2200 1100 mm
Minimale onderdeelgrootte
2 * * 2 2 mm
Copper Image

Er zijn maar weinig metalen die de elektrische geleidbaarheid hebben die koper heeft als het gaat om CNC-freesmaterialen. De hoge corrosieweerstand van het materiaal helpt roest te voorkomen, en de thermische geleidbaarheidskenmerken vergemakkelijken de vormgeving van CNC-bewerkingen.

Prijs
$ $ $
Levertijd
<10 dagen
Toleranties
Tot ±0.005 mm
Maximale onderdeelgrootte
3000 * * 2200 1100 mm
Minimale onderdeelgrootte
2 * * 2 2 mm
Zinc Image

Zink is bij kamertemperatuur een enigszins bros metaal en ziet er glanzend grijs uit als de oxidatie wordt verwijderd.

Prijs
$$$$$
Levertijd
<10 dagen
Toleranties
Tot ±0.005 mm
Maximale onderdeelgrootte
3000 * * 2200 1100 mm
Minimale onderdeelgrootte
2 * * 2 2 mm
Iron Image

IJzer is een onmisbaar metaal in de industriële sector. IJzer is gelegeerd met een kleine hoeveelheid koolstofstaal, dat na magnetisatie niet gemakkelijk wordt gedemagnetiseerd en een uitstekend hard magnetisch materiaal is, evenals een belangrijk industrieel materiaal, en ook wordt gebruikt als de belangrijkste grondstof voor kunstmatig magnetisme.

Prijs
$$$$$
Levertijd
<10 dagen
Toleranties
Tot ±0.005 mm
Maximale onderdeelgrootte
3000 * * 2200 1100 mm
Minimale onderdeelgrootte
2 * * 2 2 mm
Magnesium Image

Vanwege de lage mechanische sterkte van puur magnesium worden voornamelijk magnesiumlegeringen gebruikt. Magnesiumlegering heeft een lage dichtheid maar een hoge sterkte en goede stijfheid. Goede taaiheid en sterke schokabsorptie. Lage warmtecapaciteit, hoge stollingssnelheid en goede spuitgietprestaties.

Prijs
$$$$
Levertijd
<7 dagen
Toleranties
Tot ±0.005 mm
Maximale onderdeelgrootte
3000 * * 2200 1100 mm
Minimale onderdeelgrootte
2 * * 2 2 mm
Laten we samen iets geweldigs bouwen

Veelgestelde vragen: Onderdelen van plasma-etskamers voor toepassingen in halfgeleidergereedschappen

Kameronderdelen voor plasma-etsen moeten nauwkeurige en op maat gemaakte bewerking van de kamervoeringcomponenten bevatten met maattoleranties van ±0.050 mm, elektroden van de kamer met een vlakheid van ±0.025 mm om een ​​uniform plasma te induceren, gasdistributiedouchekoppen met 50 tot 500 gaten om een ​​uniformiteit van ±3 procent van de stroming en het plasma te garanderen, RF-koppelringen voor het afstemmen van de impedantiewaarde en micro tot nano in het bereik van ±5 procent, en verschillende proceskitcomponenten (focusringen, randringen) met afstemming van thermische uitzetting op siliciumwafers. Er zijn enkele van deze componenten in de kit die vacuümafdichting van de set vereisen, met leksnelheden lager dan 1×10⁻⁹ torr·L/s, thermische erosiestabiliteit met degradatiesnelheden in het bereik van 1 µm erosie in 1000 werkuren, stabiliteit met regionale thermische cycli van 25°C tot 400°C en generatie van deeltjes kleiner dan 0.01 groter dan 0.1 micron deeltjes in serie per cm² voor uitputtende cycli van plasmaverwerking groter dan 10,000 cycli zijn vereist, en deze onderdelen vereisen ook sit.

Geanodiseerd aluminium 6061-T6 heeft een lage dichtheid van 2.7 g/cm³, is eenvoudig te bewerken en kan een oppervlakteafwerking van 1.6 Ra micron en lager bereiken, heeft een 25 tot 50 µm dikke geanodiseerde plasmabestendige coating en heeft een thermische geleidbaarheid van 167 W/m·K, wat zorgt voor voldoende warmteafvoer. Roestvrij staal 316L heeft de beste vacuümcompatibiliteit van de materialen met een uitgassingssnelheid van minder dan 1×10⁻⁸ torr·L/s·cm², is geschikt voor cleanrooms, heeft corrosiebestendige plasmachemie en heeft een thermische uitzetting van 16 µm/m·°C. Keramiek, met name Al2O3 en Y2O3, is het beste bestand tegen plasma-erosie. De slijtage is 10 tot 50 keer lager dan bij metalen. Keramiek kan temperaturen tot 1500°C weerstaan ​​en heeft een goede diëlektrische sterkte, wat RF-isolatie mogelijk maakt. Bovendien is het materiaal inert voor plasmachemie die fluor en chloor bevat.

Door middel van 5-assig CNC-frezen worden gaskamers met complexe geometrische vormen bereikt met een tolerantie van ± 0.025 mm. Ook worden gasdistributiegaten nauwkeurig geboord met een diameterafwijking van ± 0.025 mm en een positieafwijking van ± 0.050 mm. Hogesnelheidsrotatie CNC-bewerking levert kameronderdelen op met een diameter van 1.6 Ra micron. Vacuümafdichtingsdraden met een tolerantie van klasse 2B worden geproduceerd door draadfrezen. Draadvonkprocessen kunnen snijden met een tolerantie van ± 0.01 mm om ingewikkelde ontwerpen te maken in koelkanalen van elektroden en is de afwerkingstechnologie. EDM is het beste om stukken te maken met een diameter van 300 mm. De diepte van O-ringgroeven wordt bereikt met een afwijking van ± 0.050 mm en de oppervlakteafwerking is ook 0.8 Ra micron, wat het beste is voor een goede afdichting van kamers.

De toleranties die we voor kamers hanteren, zijn: vlakheid van ±0.025 mm voor gelijkmatige plasmaspleten, gasgatdiameters van ±0.025 mm voor stromingsuniformiteit binnen ±3% voor O-ringgroeven met dieptetoleranties van ±0.050 mm, voor leksnelheden >1×10⁻⁹ torr·L/s, elektrodeparallelliteit van ±0.050 mm voor betrouwbare RF-koppeling, montagegatpositie van ±0.075 mm, een oppervlakteafwerking van 0.8 tot 3.2 Ra micron voor plasmaweerstand en een totale tolerantie van ±0.100 mm. Deze toleranties ondersteunen plasmauniformiteit met etssnelheden met een afwijking van minder dan ±5% voor de gehele wafer, vacuümintegriteit met basisdrukken van minder dan 1×10⁻⁷ torr, thermische cyclische stabiliteit van kamertemperatuur tot 400 °C en een levensduur van 10,000 RF-uren.

Ja, wij bieden rapid prototyping om de pasvorm te verifiëren en de assemblage te testen, met CAD-naar-onderdeel-mogelijkheden op dezelfde dag voor kritieke projecten. Voor aangepaste automatiseringscellen en onderzoeksplatforms produceren we kleine aantallen van 20 tot 500 beugels. Voor gestandaardiseerde robotmodellen produceren we grote aantallen van duizenden tot tienduizenden beugels per jaar, inclusief volledige maatvoeringscontrole, vlakheidscontrole en materiaalcertificering.
Nog meer vragen?