化学物質供給用マニホールドブロックCNC加工

PEEK（ポリエーテルエーテルケトン）は、酸、塩基、有機溶剤に対する化学的安定性に非常に優れており、高濃度化学薬品に30日間浸漬した後でも重量変化は0.5%未満です。また、PEEKは引張強度が100MPaを超え、圧力定格500psiを可能にし、加熱化学処理で260℃まで温度が安定しています。金属不純物に関しては、抽出可能な汚染物質が少なく、表面積あたり0.1ppb未満であるため、半導体の純度要件を満たしています。さらに、PEEKは機械加工性に優れ、複雑な内部形状を製造でき、+/- 0.015mmの良好な機械加工精度を実現します。PTFE（ポリテトラフルオロエチレン）は、PEEKよりもさらに大きな負の温度係数と正の温度係数を持ち、温度範囲は-200℃～260℃です。 PTFEは非粘着性表面を持つため、堆積物がほとんど発生せず、洗浄も容易です。さらに、PTFEは電気絶縁性も備えており、ガルバニック腐食の防止にも役立ちます。電解研磨を施したステンレス鋼316Lは、優れた耐圧性、耐熱性、構造特性を備えています。1000psiの耐圧性能と良好な熱均一性を備えています。また、複雑なアセンブリ向けに溶接することも可能です。ハステロイC-276は、特に混酸、フッ化水素酸、塩素に対して極めて優れた耐食性を備えています。
PFA は、PTFE の耐薬品性と精度および透明性を兼ね備え、流れを可視化します。

精密 CNC フライス加工により、寸法精度 ±0.015mm 以内の内部流路、容積制御 ±1% 以内の混合チャンバー、圧力損失と流量分布を最適化する複雑なポート形状が作成されます。多軸フライス加工では、デッドボリュームと乱流を最小限に抑える 3D フロー ネットワークと曲線遷移が生成されます。深穴ドリル加工では、ガン ドリリングと BTA 技術を使用して、長さ 100mm あたり 0.05mm 以内の真直度を達成し、直径 1～25mm、長さと直径の比が 30:1 を超える化学物質分配通路が作成されます。マイクロドリリングでは、超硬工具とダイヤモンド コーティング工具を使用して、直径許容差 ±0.003mm 以内の精密オリフィスと計量穴が作成されます。スレッド フライス加工では、ピッチ精度 ±0.010mmクロスドリリングは、±0.025mm以内の位置精度で交差する薬液通路を形成します。座ぐり加工は、±0.020mm以内の深さ精度でバルブシートポケットとセンサー取り付けキャビティを形成します。表面研削は、25mmあたり0.005mm未満の平坦度でシール面を形成します。

マニホールド ブロックの機械加工では、次の許容差を設けています。フロー チャネルの寸法許容差は ±0.015 mm に加工され、対象とする化学物質の一貫した流れを確保するため、流れ抵抗は設計値の ±3\% 以内です。シール平坦度許容差は、直径 25 mm あたり 0.008 mm 以内で、O リングとガスケット全体での漏れ率は 1x10⁻⁸ atm·cc/sec He 以上です。ポート位置許容差は、ストレスのない適切なフィッティング位置合わせのため ±0.025 mm であり、混合チャンバー容量許容差は、適切な滞留時間とフロー直径のため ±1\% です。オリフィスは、正確な流量計測のため、流量係数が ±2\% 以内になるように、直径許容差 ±0.003 mm に制御されています。円筒形フィーチャの同心度は、位置合わせが 0.01 mm 以内であるため、適切な流れを確保できます。マニホールド ブロックからの応力は、0.1 mL/分から 50 L/分の化学物質流量でサポートされています。さらに、マニホールド ブロックは 1000 psi で動作し、-40 °C ～ 200 °C の温度範囲を持ち、1:1 ～ 100:1 の混合比範囲を ±1\% の精度で維持します。

はい、適合性検証と組み立て試験のためのラピッドプロトタイピングを提供しており、重要なプロジェクトにはCADから部品を即日出荷する機能もご利用いただけます。カスタム自動化セルや研究プラットフォーム向けには、20～500個のブラケットの少量生産に対応しています。標準化されたロボットモデル向けには、年間数千～数万個のブラケットを大量生産しており、完全な寸法検査、平坦性検証、材料認証を実施しています。

はい、すべてのコンポーネントは、完全な材料トレーサビリティを備えて製造されており、化学処理業界の標準および一般的なポリマーと材料の生体適合性に関する評価を受けており、以下に対してトレーサブルです。ISO 9001 認定組織および認定品質管理システム、化学純度評価、抽出可能金属の分析、熱重量分析、漏れとベントの感度、SEMI C1 および C8 標準、仕様を含む材料仕様標準、SEMI F57 (化学物質供給システム)、プロセス配管の ASME B31.3、食品接触用途の 21 CFR 177、USP クラス VI、クリーンルームの ISO 14644-1、RoHS、REACH、環境コンプライアンス、および化学適合性を備えた漏れ防止の材料への依存、10 ～ 15 年の持続的な運用サービスで 50,000 回の通過、化学処理とクリーンルーム作業環境の改善。

当社は航空宇宙の要件に合わせた包括的な仕上げソリューションを提供します。
陽極酸化処理（タイプIIおよびタイプIII）
耐食性のための不動態化
空気力学的表面の精密研磨
カスタム保護コーティングと熱バリア

確立された薬液供給設計に基づく標準的なマニホールドブロックは、機械加工、表面処理、リークテスト、耐薬品性検証、クリーンルームでの梱包といった工程を含め、リードタイム全体を含め14～20営業日で納品されます。加熱装置とマルチポート構成を統合した複雑なカスタムアセンブリは、流量試験と耐薬品性認証を含め、6～8週間かかります。流量分布解析を可能にするマニホールドブロックの試作は、表面仕上げと材料の入手状況に左右されますが、10～16営業日で完了します。

はい。当社では、個々の化学物質の取り扱いと処理能力に合わせてマニホールド ブロックを製造しています。半導体ウェット エッチング マニホールドは、PTFE または PFA の接液面内で HF、BOE、リン酸のバランスを取り、分配します。これにより、20 年以上の耐腐食性が保証されます。医薬品滅菌処理ブロックは、134°C の蒸気滅菌に耐える USP クラス VI 生体適合性材料を採用しています。このようなサンプル注入マニホールドを備えた分析機器は、2 µL 未満のデッド ボリュームと、高解像度クロマトグラフィーに重要な 0.01 % 未満のキャリーオーバー汚染を実現します。高速切り替え機能を備えたフォトリソグラフィー用のマルチ溶媒供給システムは、アセトン、IPA、NMP、DMSO に対して耐薬品性があります。200°C まで加熱要素が組み込まれた高温化学物質マニホールドは、±1°C 以内の均一性を保証します。-40°C での低温処理用の極低温溶媒分配ハステロイC-276構造の腐食性ガスマニホールドは、塩素、塩化水素、アンモニアでの使用が承認されています。特別な構成サービスには、リアルタイム監視と±1%以内の精度を備えた統合型フローセンサー、サーミスタ精度±0.2℃以内の温度センサー、フルスケールの±0.5%の分解能で分配圧力を監視する圧力トランスデューサー、空気圧または電動アクチュエータを備えた自動バルブ統合、そして0.003ミクロンの粒子を99.99%以上の効率で捕捉する完璧なフィルターが含まれます。化学物質の混合に加えて、±0.5%の均一性を備えたスタティックミキサーエレメントと、1/8インチから1インチのチューブ接続に対応するモジュラーポート構成が採用されています。すべてのシステムには、圧力解放、熱保護、緊急遮断機能が組み込まれています。

±0.015mmの許容誤差で機械加工された内部フローチャネルは、±2の流量分布均一性を可能にし、半導体製造において製品品質と歩留まりの低下（2～5%の歩留まり損失）につながるようなプロセス変動を排除します。CNC加工により、シーリング面で1×10⁻⁸ atm·cc/sec Heのリークレートと、プロセスストリームを介したクロスコンタミネーションを実現します。このリークタイト性は、非常に敏感な超クリーンプロセスアプリケーションでは不可欠です。CNC加工により、デッドボリュームとプロセス流体を劣化させる温度依存性化学物質を制限する、最適化された内部フロー形状を持つマニホールドブロックの設計が可能になります。Ra 0.8の仕上げ面は、現場での洗浄に不可欠な粒子とバイオフィルムの付着性を提供し、汚染を減らし、プロセス中のデッドボリュームの原因となる障害物を取り除きます。優れた機械的特性と熱的特性により、弱い有機溶剤を使用するプロセスの要求を満たします。 PEEKは最大500psiまでの高い機械的強度を、PTFEは高い耐薬品性を備えています。電解研磨ステンレス鋼316Lは、金属汚染レベルが1ppb未満の超高純度プロセスのニーズを満たします。CNC加工により、オリフィス径の穴あけ精度は±0.003mmを実現し、流量計量を目標比率の±2%以内に保ち、精密かつ正確な薬液供給を実現します。抽出可能な汚染物質が0.1ppb未満であるため、高感度分析測定や製品汚染において干渉は一切発生しません。さらに、1×10⁻⁸ atm·cc/secのヘリウムガスによる品質リークテストを実施することで、クロスコンタミネーションの可能性をすべて排除しています。これにより、化学的分離の完全性を維持できます。信頼性の高い化学薬品供給により、精密航空機製造が促進されます。この製造では、ウェーハ直径に対して ± 2% 以内のエッチング プロセスの均一性が達成されます。また、10⁻⁶ を超える無菌性が保証される二重診断、1 ppb という非常に低い検出限界とプロセス保持中の 0.01% の汚染を実現する分析クロマトグラフィー、± 0.5°С の安定した温度フォトリソグラフィー化学薬品供給、± 1% 以内の流量精度を実現する特殊化学処理、および 0.1 ppb を超える汚染のないほぼ理想的な濃度分析を要求するすべての研究活動が促進されます。マニホールドの寿命とサービスは 10 ～ 15 年と長く、分析段階が維持された状態で一貫した化学薬品分布と濃縮測定が提供されます。DDF は、デスクトップ ラボ システムから大規模な産業用化学薬品分配システムまで、安定した化学薬品操作を保証するために、半導体工場、製薬施設、分析ラボ、研究機関、特殊な化学処理施設で必要とされます。