半導体産業向けカスタムウェーハチャックCNC加工

窒化アルミニウム (AlN) は 170 ワット/メートル・ケルビンという優れた熱伝導率を備えているため、直径 300 mm にわたってウェハの温度勾配を 1°C 以内に迅速に均一化でき、静電チャック電圧を 2000 V に制御することが容易になります。また、高い誘電強度、極めて低いパーティクル生成、フッ素および塩素の化学反応に対するほぼ絶対的なプラズマ耐性を備えています。アルミナ (Al₂O₃) は 30 ワット/メートル・ケルビンという十分な熱伝導率を備えており、その優れた機械的強度、優れたプラズマ耐性、AlN に比べて低いコスト、エッチングおよび堆積プロセス中の実証済みの信頼性により、合理的な選択肢となっています。アルミニウム 6061-T6 は 167 ワット/メートル・ケルビンという良好な熱伝導率、複雑な冷却チャネルに対する優れた機械加工性、アルミニウム チャックに対するコスト効率、適切な陽極酸化処理による十分な真空適合性、冷却システムに対する十分な熱伝導率を備えています。複合材料は、シリコンウェハの熱膨張と同期して反りを防止するように設計されています。熱膨張係数は1ケルビンあたり2.6ppmです。

カスタム ウェーハ チャックでは、超精密表面研削により、300 mm ディスク上のウェーハ接触面で 0.0001 インチの平坦度と 0.002 インチ未満の厚さ変動を実現しています。精密ラッピングでは、ウェーハと接触し、接触面にパーティクルを生成するために、Ra 0.1 ミクロン未満の微細仕上げを施した表面を開発しています。ダイヤモンド研削盤とセラミック チャック用ダイヤモンド研削では、複雑なプロファイルを設計します。CNC ミリングでは、冷却チャネル、真空溝、取り付け機能の設計を実装します。座標ドリリングでは、真空ポートを製造し、位置精度 ±0.003 インチでリフト ピン穴をドリルで穴あけします。抵抗ヒーターまたは静電ヒーター用の埋め込み電極が組み込まれています。真空溝では、一貫した保持力を確保するために、深さを ± 0.001 以内に制御します。プラズマ スプレー コーティングでは、保護層としてイットリアまたはアルミナを提供します。すべての重要な操作は ISO クラス 5 クリーンルームで実行されます。

オプションには、腐食防止のためのアルミニウムの陽極酸化処理、塩水噴霧試験で1000時間を超える耐腐食性を備えたカスタムカラーの環境保護用粉体塗装、防錆のための鋼鉄の亜鉛メッキ、視覚用途の非反射表面用の鋼鉄の黒色酸化皮膜、均一なマットな質感のためのビードブラスト、導電性のためのクロメート変換コーティングなどがあり、精密研磨のために、平面度0.003インチの超平坦な取り付け面が作られています。

はい。当社は以下のような柔軟な製造能力を提供しています。
設計検証のためのラピッドプロトタイピング
特殊用途向けの少量生産
一貫した品質管理による大量生産
あらゆる段階で完全な構造と寸法の検証