ZTL TECH s'appelle désormais Zintilon. Nous avons mis à jour notre nom et notre logo pour un nouveau départ. Jetez-y un oeil!

Usinage CNC de plaques de base de précision pour machines à semi-conducteurs

Les plaques de base pour machines de semi-conducteurs de pointe jouent un rôle crucial en tant que fondations structurelles ultra-stables, offrant des surfaces de montage rigides tout en préservant l'isolation vibratoire des systèmes de process et de métrologie. Zintilon est spécialisé dans l'usinage CNC de plaques de base, de socles d'équipement et de plateformes de montage. L'entreprise garantit ainsi une planéité, une stabilité thermique et un amortissement des vibrations optimaux, garantissant ainsi un fonctionnement fiable en salle blanche et dans les environnements de fabrication de semi-conducteurs.
  • Usinage de surfaces de montage ultra-plates et d'interfaces d'équipements
  • Tolérances serrées jusqu'à ±0.0005 po pour l'alignement des équipements
  • Fraisage de précision, rectification et contrôle de la planéité
  • Prise en charge du prototypage rapide et de la production à grande échelle
  • Fabrication certifiée ISO 9001 avec expertise dans l'industrie des semi-conducteurs


Choisi par 15,000+ entreprises

Pourquoi les entreprises médicales
Choisissez Zintilon

prductivity

Livraison rapide

Une équipe d'ingénieurs professionnels capable de répondre rapidement aux besoins des clients et de fournir des services à guichet unique de la conception à la production dans un court laps de temps pour assurer une livraison rapide.

10x

Haute précision

Nous sommes équipés d'équipements automatisés et d'outils de mesure sophistiqués pour atteindre une précision et une cohérence élevées, garantissant que chaque pièce répond aux normes de qualité les plus strictes.

world

Certifié ISO13485

En tant que fabricant de précision certifié ISO13485, nos produits et services répondent aux normes de qualité les plus strictes de l'industrie automobile.

Du prototypage à la production de masse

Zintilon fournit un usinage CNC pour les plaques de base de précision et les composants structurels associés pour les fabricants d'équipements semi-conducteurs, les fournisseurs d'infrastructures de fabrication et les intégrateurs de systèmes de salles blanches du monde entier.

Plaques de base de précision prototypes

Obtenez des prototypes d'assemblages de plaques de base reproduisant votre conception avec une grande précision. Avant de lancer la production à grande échelle de semi-conducteurs, vérifiez le montage des équipements, l'isolation vibratoire et la résistance thermique.
Points clés:
Prototypage rapide avec une grande précision
Tolérances serrées (±0.0005 po)
Conception des tests, planéité et stabilité précoces
3 Axis CNC Machined Stainless Steel Passivation

EVT – Test de validation technique

Détectez en amont les problèmes de fonctionnalité des prototypes pour faciliter la transition vers la production à grande échelle. Identifiez les éventuels problèmes de conception sur les prototypes de plaques de base afin de respecter toutes les exigences structurelles et environnementales.
Points clés:
Valider la fonctionnalité du prototype
Itérations de conception rapides
Assurer la préparation à la production
Anodized Aluminum 1024x536

DVT – Test de validation de conception

Pour le support des équipements de production de masse, les matériaux de précision des plaques de base et les configurations thermiques de montage sont testés pour garantir la précision de la conception. L'intégrité et la planéité de la conception sont validées pour garantir la capacité de production haute performance.
Points clés:
Confirmer l'intégrité de la conception et la qualité de la planéité
Tester plusieurs matériaux et configurations
Assurer des performances prêtes pour la production
design aluminium

PVT – Test de validation de production

Examiner les plaques de base de précision pour une production à grande échelle afin de confirmer sa faisabilité et d’identifier les éventuels problèmes de fabrication afin de garantir la cohérence et l’efficacité.
Points clés:
Tester la capacité de production à grande échelle
Détecter et résoudre les problèmes de processus en amont
Assurer une qualité constante des pièces
Anodized Titanium Fastener

Production de masse

Tester la capacité de fabrication en série doit évaluer les capacités de production à l'échelle industrielle. L'évaluation continue du cadre de production doit permettre de mettre en évidence, dès le début, les problèmes de production non résolus. La qualité des composants doit répondre aux exigences de production de la pièce à l'échelle industrielle.
Points clés:
Production constante et à grand volume
Usinage de précision pour une qualité de semi-conducteur
Délai d'exécution rapide avec un contrôle qualité strict
production

Sourcing simplifié pour
l'industrie médicale

Nos capacités de fabrication de précision sont largement utilisées dans l'industrie médicale. L'usinage CNC, la fabrication de tôles et d'autres technologies garantissent une haute précision et une résistance à la chaleur dans l'application de matériaux de qualité médicale tels que l'alliage de titane et le PEEK.

Découvrez d'autres composants semi-conducteurs

Découvrez notre gamme complète de composants semi-conducteurs usinés CNC, conçus pour une durabilité et des tolérances ultra-serrées. De l'outillage de précision et des pièces de fixation aux enceintes à vide et aux systèmes de manutention de wafers, nous proposons des solutions sur mesure pour la production avancée de semi-conducteurs.

Capacités d'usinage de plaques de base de précision pour machines à semi-conducteurs

Grâce à nos centres d'usinage de précision et de rectification de surfaces CNC pilotés par interférométrie laser, et à notre expertise en usinage d'équipements pour semi-conducteurs, nous réalisons l'usinage de plaques de base de précision pour l'usinage CNC de machines à semi-conducteurs. Des bases d'outils de lithographie aux plateformes de systèmes de métrologie, en passant par les socles de chambres de traitement et leurs surfaces de montage ultra-plates et les couches de découplage de leur boîtier, chaque pièce est conçue pour répondre aux exigences spécifiques de rigidité, de stabilité dimensionnelle à la dérive thermique et d'amortissement des vibrations, adaptées à l'environnement de fabrication de semi-conducteurs de pointe. Nous proposons des services de rectification de surfaces de précision, de fraisage CNC pour les gabarits de boulons et le routage des câbles, de traitements de détente pour la stabilité dimensionnelle et de vérification de la planéité par interférométrie laser. Nous effectuons également des essais de vibration et la validation des cycles thermiques de la rectification de surfaces. Chaque plaque de base de précision est usinée à partir de granit de précision (granit noir, diabase), de fonte (Meehanite, classe 40), de fabrications en acier soudé, de plaques d'outillage en aluminium (MIC-6, ATP-5) ou de composites en acier remplis de béton, garantissant une stabilité dimensionnelle exceptionnelle, des caractéristiques d'amortissement des vibrations et un contrôle de la dilatation thermique en fonctionnement continu dans des salles blanches à température contrôlée.
milling

Usinage CNC

sheet metal

Fabrication de tôle

edm

EDM de fil

casting

Coulée de métal

Industrie aerospatiale
Matériaux et finitions

Matériel Requis
Nous proposons une large gamme de matériaux, notamment les métaux, les plastiques et les composites.
Finitions
Nous proposons des finitions de surface supérieures qui améliorent la durabilité et l'esthétique des pièces pour les applications nécessitant des surfaces lisses ou texturées.

Industries spécialisées

vous êtes invités à le souligner dans les dessins ou à communiquer avec le service commercial.

Matériaux pour composants de plaques de base de précision

Notre atelier d'usinage CNC propose une large gamme de matériaux pour l'usinage de plaques de base de précision pour machines à semi-conducteurs. Avec plus de 10 matériaux de structure ultra-stables, nous prenons en charge le prototypage rapide et la fabrication de fondations d'équipements de précision avec une qualité constante et les spécifications des matériaux des installations de semi-conducteurs.
Aluminum Image

Usinabilité et ductilité élevées. Les alliages d'aluminium présentent un bon rapport résistance/poids, une conductivité thermique et électrique élevée, une faible densité et une résistance naturelle à la corrosion.

Tarifs et Prix
$ $ $
Délai De Mise En Œuvre
<7 jours
Tolérances
Jusqu'à ± 0.003 mm
Taille maximale de la pièce
3000 * 2200 * 1100 mm
Taille minimale des pièces
2 * 2 * 2 mm
Stainless steel Image

Les alliages d'acier inoxydable ont une résistance élevée, une ductilité, une résistance à l'usure et à la corrosion. Ils peuvent être facilement soudés, usinés et polis. La dureté et le coût de l’acier inoxydable sont supérieurs à ceux de l’alliage d’aluminium.

Tarifs et Prix
$ $ $
Délai De Mise En Œuvre
<7 jours
Tolérances
Jusqu'à ± 0.005 mm
Taille maximale de la pièce
3000 * 2200 * 1100 mm
Taille minimale des pièces
2 * 2 * 2 mm
Steel Image

L'acier est un alliage de fer et de carbone solide, polyvalent et durable. L'acier est solide et durable. Il présente une résistance élevée à la traction, à la corrosion, à la chaleur et au feu, et se moule et se forme facilement. Ses applications vont des matériaux de construction et des composants structurels aux composants automobiles et aérospatiaux.

Tarifs et Prix
$$$$$
Délai De Mise En Œuvre
<10 jours
Tolérances
Jusqu'à ±0.001 mm (routage)
Taille maximale de la pièce
3000 * 2200 * 1100 mm
Taille minimale des pièces
2 * 2 * 2 mm
Titanium Image

Le titane est un matériau avancé doté d’excellentes caractéristiques de résistance à la corrosion, de biocompatibilité et de résistance/poids. Cette gamme unique de propriétés en fait un choix idéal pour relever de nombreux défis d’ingénierie auxquels sont confrontés les secteurs médical, énergétique, chimique et aérospatial.

Tarifs et Prix
$ $ $
Délai De Mise En Œuvre
<10 jours
Tolérances
Jusqu'à ± 0.005 mm
Taille maximale de la pièce
3000 * 2200 * 1100 mm
Taille minimale des pièces
2 * 2 * 2 mm
Bronze Image

Très résistant à la corrosion de l'eau de mer. Les propriétés mécaniques du matériau sont inférieures à celles de nombreux autres métaux usinables, ce qui le rend idéal pour les composants à faible contrainte produits par usinage CNC.

Tarifs et Prix
$$$$$
Délai De Mise En Œuvre
<10 jours
Tolérances
Jusqu'à ± 0.005 mm
Taille maximale de la pièce
3000 * 2200 * 1100 mm
Taille minimale des pièces
2 * 2 * 2 mm
Brass Image

Le laiton est mécaniquement plus résistant et les propriétés métalliques à faible friction rendent le laiton usiné CNC idéal pour les applications mécaniques qui nécessitent également une résistance à la corrosion telles que celles rencontrées dans l'industrie maritime.

Tarifs et Prix
$ $ $
Délai De Mise En Œuvre
<10 jours
Tolérances
Jusqu'à ± 0.005 mm
Taille maximale de la pièce
3000 * 2200 * 1100 mm
Taille minimale des pièces
2 * 2 * 2 mm
Copper Image

Peu de métaux ont la conductivité électrique du cuivre lorsqu'il s'agit de matériaux de fraisage CNC. La haute résistance à la corrosion du matériau aide à prévenir la rouille et ses caractéristiques de conductivité thermique facilitent la mise en forme par usinage CNC.

Tarifs et Prix
$ $ $
Délai De Mise En Œuvre
<10 jours
Tolérances
Jusqu'à ± 0.005 mm
Taille maximale de la pièce
3000 * 2200 * 1100 mm
Taille minimale des pièces
2 * 2 * 2 mm
Zinc Image

Le zinc est un métal légèrement cassant à température ambiante et présente un aspect grisâtre brillant une fois l'oxydation éliminée.

Tarifs et Prix
$$$$$
Délai De Mise En Œuvre
<10 jours
Tolérances
Jusqu'à ± 0.005 mm
Taille maximale de la pièce
3000 * 2200 * 1100 mm
Taille minimale des pièces
2 * 2 * 2 mm
Iron Image

Le fer est un métal indispensable dans le secteur industriel. Le fer est allié à une petite quantité d'acier au carbone, qui n'est pas facilement démagnétisé après magnétisation et constitue un excellent matériau magnétique dur, ainsi qu'un matériau industriel important, et est également utilisé comme matière première principale pour le magnétisme artificiel.

Tarifs et Prix
$$$$$
Délai De Mise En Œuvre
<10 jours
Tolérances
Jusqu'à ± 0.005 mm
Taille maximale de la pièce
3000 * 2200 * 1100 mm
Taille minimale des pièces
2 * 2 * 2 mm
Magnesium Image

En raison de la faible résistance mécanique du magnésium pur, les alliages de magnésium sont principalement utilisés. L'alliage de magnésium a une faible densité mais une résistance élevée et une bonne rigidité. Bonne ténacité et forte absorption des chocs. Faible capacité thermique, vitesse de solidification rapide et bonnes performances de moulage sous pression.

Tarifs et Prix
$$$$
Délai De Mise En Œuvre
<7 jours
Tolérances
Jusqu'à ± 0.005 mm
Taille maximale de la pièce
3000 * 2200 * 1100 mm
Taille minimale des pièces
2 * 2 * 2 mm
Bâtissons ensemble quelque chose de grand

FAQ : Plaques de base de précision pour applications de machines à semi-conducteurs

Nous fournissons des solutions de finition complètes adaptées aux exigences de l'aérospatiale :
Anodisation (Type II et Type III)
Passivation pour la résistance à la corrosion
Polissage de précision pour surfaces aérodynamiques
Revêtements de protection et barrières thermiques personnalisés

Tous les composants, ainsi que les plaques de base de précision, sont fabriqués selon un processus de fabrication de qualité certifié ISO 9001. Dans le cadre d'une traçabilité certifiée des matériaux, incluant la stabilité thermique et la dilatation dans des limites contrôlées, tous les éléments, y compris les plaques de base, sont développés à l'aide de systèmes d'interférométrie laser calibrés de pointe, garantissant une vérification dimensionnelle et des mesures complètes. Tous les éléments relatifs au contrôle des vibrations, à la planéité, à la cartographie de surface et au respect des spécifications documentées des équipements de semi-conducteurs, notamment les normes SEMI, sont inclus. Outre les dispositions relatives au contreventement sismique, à la compatibilité avec les salles blanches et à la stabilité structurelle, un document de contrôle qualité signé et scellé certifie le maintien de l'alignement dans une plage spécifiée et sur une durée de vie de plusieurs années.

Oui, nous proposons un prototypage rapide pour vérifier l'ajustement et tester l'assemblage, avec une capacité de CAO à pièce le jour même pour les projets critiques. Pour les cellules d'automatisation personnalisées et les plateformes de recherche, nous produisons en petites séries de 20 à 500 supports. Pour les modèles de robots standardisés, nous produisons en grandes séries de milliers à dizaines de milliers de supports par an, intégrant un contrôle dimensionnel complet, une vérification de la planéité et la certification des matériaux.

Pour les plaques de base d'équipements, notamment celles supportant les outils de lithographie, les systèmes de métrologie et les chambres de traitement, une planéité de 5 microns, comprise entre 5 et 25 microns par mètre, garantissant un support uniforme et une isolation vibratoire, constitue un atout majeur. Concernant le parallélisme, l'alignement des surfaces opposées est contrôlé à 0.002 pouce par pied, la perpendicularité à 0.003 pouce près et le centre absolu des zones d'isolation de l'équipement à < 0.8 Ra micron. La finition de surface des surfaces de contact est maintenue afin d'obtenir une stabilité dimensionnelle de 25 microns entre 20 et 23 degrés, un atout majeur pour les équipements prenant en charge une précision de positionnement submicronique. Les plaques de base des équipements offrent une précision de positionnement submicronique dans les chambres de traitement, les outils de lithographie et les systèmes de métrologie.

L'utilisation d'une rectification de surface de précision dans les délais mentionnés permet un contrôle accru de la planéité, atteignant même 5, 7 ou 8 microns par mètre, ce qui permet d'obtenir un état de surface de 0.8 Ra micron. Le contrôle de la précision de positionnement à ± 0.010 pouce du fraisage CNC permet la création de gabarits de perçage, permettant ainsi le positionnement et l'alignement des équipements pour les interfaces adjacentes. La surface de perçage indique le contrôle des trous de boulons d'ancrage, des trous de vis de nivellement et des pénétrations des équipements. Le rodage permet un contrôle et une précision de planéité de 5 microns pour les applications métrologiques critiques. Au fil des ans, les pièces en acier subiront un recuit de détente qui assure une stabilité dimensionnelle de 25 microns dans un délai « x », éliminant ainsi les contraintes résiduelles. Pour les formes personnalisées, le moulage en atelier permet la création de formes sur mesure.

Des aspects tels que la durabilité, le coût et l'usinabilité sont pris en compte lors du choix des plaques de base. Le granit (granit noir et diabase) offre d'excellentes performances en métrologie. Une stabilité à plat sur plusieurs décennies est également possible à l'échelle du micron. Une dilatation thermique plus faible, inférieure à 8 ppm/K, constitue également un atout majeur. Un amortissement des vibrations nettement supérieur est également un atout majeur, car il réduit la résonance de 10 fois par rapport à l'acier. La stabilité de l'amortissement des vibrations à long terme constitue également un atout majeur. Le coût de la fonte Meehanite est comparable à celui de la fonte de classe 40, car elle dissipe les vibrations malgré une masse élevée. Elle possède également les mêmes caractéristiques d'amortissement que l'isolation vibratoire, ainsi que la même stabilité et usinabilité pour les éléments de montage. Les fabrications en acier sculpté offrent une résistance élevée pour les structures destinées à supporter plus de 10 000 kg. Elles offrent également une flexibilité de conception sophistiquée. L'intégration de contreventements sismiques, de pliage et de fusion offre également la flexibilité nécessaire pour les géométries complexes.
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