Mandrins de plaquettes personnalisés, usinage CNC pour l'industrie des semi-conducteurs

Le nitrure d'aluminium (AlN) présente une conductivité thermique exceptionnelle de 170 watts par mètre-Kelvin, ce qui permet une égalisation rapide du gradient de température des plaquettes à 1 °C près sur des diamètres de 300 mm, facilitant ainsi le contrôle des tensions de serrage électrostatiques jusqu'à 2 000 V. Il présente également une rigidité diélectrique élevée, une génération de particules ultra-faible et une résistance plasma quasi absolue aux composés fluorés et chlorés. L'alumine (Al₂O₃) présente une conductivité thermique adéquate de 30 watts par mètre-Kelvin, mais sa résistance mécanique supérieure, son excellente résistance plasma, son coût inférieur à celui de l'AlN et sa fiabilité éprouvée lors des processus de gravure et de dépôt en font un choix judicieux. L'aluminium 6061-T6 présente une bonne conductivité thermique de 167 watts par mètre-Kelvin, une excellente usinabilité pour les canaux de refroidissement complexes, un excellent rapport coût-efficacité pour les mandrins en aluminium, une compatibilité sous vide adéquate avec une anodisation appropriée et une conductivité thermique adéquate pour le système de refroidissement. Les matériaux composites sont conçus pour synchroniser la dilatation thermique avec celle de la plaquette de silicium afin d'éviter toute courbure. Leur coefficient de dilatation thermique est de 2.6 ppm par Kelvin.

Pour les mandrins de wafers personnalisés, une rectification de surface ultra-précise est utilisée pour obtenir une planéité de 0.0001 pouce à la surface de contact du wafer sur un disque de 300 mm et une variation d'épaisseur totale inférieure à 0.002 pouce. Pour le rodage de précision, nous développons des surfaces avec une microfinition de moins de 0.1 micron Ra pour le contact avec les wafers et la génération de particules sur les surfaces de contact. Pour nos rectifieuses diamantées et la rectification diamantée des mandrins céramiques, nous concevons des profils complexes. Pour l'usinage CNC, nous concevons les canaux de refroidissement, les rainures sous vide et les dispositifs de montage. Pour le perçage coordonné, des orifices sous vide sont réalisés et les trous pour les goupilles de levage sont percés avec une précision de positionnement de ± 0.003 pouce. Des électrodes sont intégrées pour les résistances chauffantes ou électrostatiques. Pour les rainures sous vide, nous contrôlons la profondeur à ± 0.001 pour une force de maintien constante. Le revêtement par projection plasma offre une couche protectrice d'oxyde d'yttrium ou d'alumine. Toutes les opérations critiques sont réalisées dans des salles blanches de classe ISO 5.

Les options incluent l'anodisation sur l'aluminium pour la protection contre la corrosion, le revêtement en poudre pour la protection de l'environnement dans des couleurs personnalisées où la résistance à la corrosion dépasse 1000 heures dans les tests au brouillard salin, le zingage sur l'acier pour la résistance à la rouille, le revêtement d'oxyde noir sur l'acier pour les surfaces non réfléchissantes dans les applications de vision, le grenaillage pour une texture mate uniforme et le revêtement de conversion au chromate pour la conductivité électrique, tandis que pour le meulage de précision, les surfaces de montage ultra-plates sont fabriquées avec une planéité de 0.003 pouce.

Oui. Nous proposons des capacités de production flexibles, notamment :
Prototypage rapide pour la validation de la conception
Production à faible volume pour applications spécialisées
Production à haut volume avec contrôle qualité constant
Vérification structurelle et dimensionnelle complète à chaque étape