Carcasas de cámara de vacío Mecanizado CNC para herramientas de semiconductores

Las características del aluminio 6061-T6, 5083 y 5086 incluyen una construcción ligera que reduce la carga sobre el suelo y el espacio ocupado por el equipo, lo que facilita un control rápido de la temperatura, lo que resulta en una excelente conductividad térmica de 167 vatios por metro Kelvin y una conductividad térmica óptima, lo que reduce los costos de las cámaras de procesamiento de mayor tamaño, facilita el mecanizado para la integración de puertos complejos y las características de montaje para cámaras de vacío en construcción, tasas de desgasificación muy bajas por debajo de 10⁻⁸ Torr-litros por segundo por centímetro cuadrado después del procesamiento requerido y reduce el costo de las cámaras de proceso de gran tamaño. Los aceros inoxidables 304L y 316L proporcionan máxima resistencia para fuerzas diferenciales atmosféricas de presión equilibrada y una resistencia excepcional al flúor y cloro del plasma de los materiales de la cámara de vacío, y una desgasificación ultrabaja por debajo de 10⁻⁹ Torr-litros por segundo en cámaras de vacío electropulidas que pueden hornearse a 450 °C para procesos de ultra alto vacío. El aluminio anodizado exhibe excelente resistencia a la corrosión, a la abrasión y a la creación de superficies duras en las interfaces de juntas tóricas, aislamiento eléctrico para cámaras alimentadas por RF y materiales de cámara de vacío que, en combinación con juntas de politetrafluoroetileno.

Las carcasas de cámara de vacío son carcasas totalmente integradas para equipos de fabricación de semiconductores que proporcionan un entorno de vacío controlado para el procesamiento de obleas. Las carcasas de cámara de proceso pueden incluir diversos módulos de grabado por plasma al vacío, deposición o implantación de iones, vacíos o integrados, que operan a niveles de vacío de 10⁻³ a 10⁻⁹ Torr. Diversas carcasas de criobomba pueden configurarse para proporcionar condiciones de ultra alto vacío por debajo de 10⁻⁸ Torr. Otros módulos pueden incluir cámaras de confinamiento de plasma para grabado iónico reactivo y deposición física de vapor, así como cámaras analíticas para equipos de medición. Los módulos especiales para el procesamiento de obleas de 200 mm, 300 mm y 450 mm incluyen cámaras de desgasificación, recintos de procesamiento térmico rápido, cámaras de prelimpieza y criobomba.

Sí, ofrecemos prototipado rápido para verificar el ajuste y probar el ensamblaje, con capacidad de conversión de CAD a pieza el mismo día para proyectos críticos. Para celdas de automatización personalizadas y plataformas de investigación, realizamos producciones de bajo volumen de entre 20 y 500 soportes. Para modelos de robots estandarizados, realizamos producciones de alto volumen de entre miles y decenas de miles de soportes al año, que incluyen inspección dimensional completa, verificación de planitud y certificación de materiales.

Las cubiertas de refuerzo garantizan que la planitud de la superficie de sellado se mantenga dentro de 0.005 pulgadas entre las caras de la brida. Por lo tanto, se garantiza que las superficies de sellado alcancen tasas de fuga inferiores a 10⁻⁹ cc estándar por segundo de helio. Las dimensiones de la ranura de la junta tórica de las superficies de sellado alcanzan tasas de fuga inferiores a 10⁻⁹ cc estándar por segundo de helio.

Ofrecemos soluciones integrales de acabado adaptadas a los requisitos aeroespaciales:
Anodizado (Tipo II y Tipo III)
Pasivación para resistencia a la corrosión
Pulido de precisión para superficies aerodinámicas
Recubrimientos protectores y barreras térmicas personalizados