Mecanizado CNC de mandriles de obleas personalizados para la industria de semiconductores

El nitruro de aluminio (AlN) posee una conductividad térmica excepcional de 170 vatios por metro Kelvin, lo que permite una rápida igualación del gradiente de temperatura de la oblea con una precisión de 1 °C en diámetros de 300 mm, facilitando así el control de las tensiones de sujeción electrostáticas hasta 2000 V. Además, posee una alta rigidez dieléctrica, una generación de partículas ultrabaja y una resistencia al plasma casi absoluta a las sustancias químicas del flúor y el cloro. Mientras que la alúmina (Al₂O₃) posee una conductividad térmica adecuada de 30 vatios por metro Kelvin, su superior resistencia mecánica, excelente resistencia al plasma, su menor coste en comparación con el AlN y su probada fiabilidad durante los procesos de grabado y deposición la convierten en una opción razonable. El aluminio 6061-T6 posee una buena conductividad térmica de 167 vatios por metro Kelvin, excelente maquinabilidad para canales de refrigeración complejos, rentabilidad para mandriles de aluminio, adecuada compatibilidad con el vacío con un anodizado adecuado y una conductividad térmica adecuada para el sistema de refrigeración. Los materiales compuestos están diseñados para sincronizar la expansión térmica con la oblea de silicio y evitar así la curvatura. El coeficiente de expansión térmica es de 2.6 ppm por Kelvin.

Para mandriles de obleas personalizados, se utiliza rectificado de superficies de ultraprecisión para lograr una planitud de 0.0001 pulgadas en la superficie de contacto de la oblea en un disco de 300 mm y una variación total de espesor inferior a 0.002 pulgadas. Para el lapeado de precisión, desarrollamos superficies con un microacabado de menos de 0.1 micras Ra para el contacto con las obleas y la generación de partículas en las superficies de contacto. Para nuestras rectificadoras de diamante y rectificado de diamante para mandriles cerámicos, diseñamos perfiles complejos. Para el fresado CNC, implementamos diseños para los canales de refrigeración, las ranuras de vacío y los elementos de montaje. Para el taladrado por coordenadas, se crean puertos de vacío y se perforan los orificios para los pasadores de elevación con una precisión posicional de ±0.003 pulgadas. Se integran electrodos para calentadores resistivos o electrostáticos. Para las ranuras de vacío, controlamos la profundidad con un margen de ±0.001 para una fuerza de sujeción constante. El recubrimiento por pulverización de plasma proporciona itria o alúmina como capa protectora. Todas las operaciones críticas se realizan en salas blancas ISO Clase 5.

Las opciones incluyen anodizado en aluminio para protección contra la corrosión, recubrimiento en polvo para protección ambiental en colores personalizados donde la resistencia a la corrosión excede las 1000 horas en pruebas de niebla salina, enchapado de zinc en acero para resistencia a la oxidación, recubrimiento de óxido negro en acero para superficies no reflectantes en aplicaciones de visión, granallado para una textura mate uniforme y recubrimiento de conversión de cromato para conductividad eléctrica, mientras que para el rectificado de precisión, las superficies de montaje ultraplanas se fabrican con una planitud de 0.003 pulgadas.

Sí. Ofrecemos capacidades de fabricación flexibles que incluyen:
Prototipado rápido para la validación del diseño
Producción de bajo volumen para aplicaciones especializadas
Producción de gran volumen con control de calidad constante
Verificación estructural y dimensional completa en cada etapa