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CNC-Bearbeitung von Strukturhalterungen für Halbleiterwerkzeuge
Strukturhalterungen sind präzisionsgefertigte Montagekomponenten, die Prozesskammern, Robotersystemen und Gerätemodulen in Halbleiterfertigungsanlagen stabilen Halt, präzise Ausrichtung und modulare Konnektivität bieten. Zintilon ist auf die CNC-Bearbeitung von Strukturhalterungen spezialisiert. Wir nutzen fortschrittliche Fräs- und Oberflächenbehandlungsverfahren, um außergewöhnliche Maßgenauigkeit, Tragfähigkeit und Reinraumkompatibilität für die zuverlässige Geräteintegration in Waferverarbeitungsanlagen zu erreichen.
- Bearbeitung komplexer Halterungsgeometrien und Montageschnittstellen
- Enge Toleranzen bis zu ±0.005 Zoll
- Präzisionsfräsen, Spannungsabbau & reinraumgerechte Endbearbeitung
- Unterstützung für Rapid Prototyping und Serienproduktion
- ISO 9001-zertifizierte Herstellung von Halbleiterausrüstung
Eingesetzt von Über 15,000 Unternehmen
Warum Halbleiterunternehmen
Wählen Sie Zintilon
Erhöhte Produktivität
Da sich Ingenieure nicht mit unausgereiften Lieferketten oder fehlendem Lieferkettenpersonal in ihrem Unternehmen herumschlagen müssen, gewinnen sie Zeit und können schneller an Ersatzteile kommen.
10x engere Toleranzen
Zintilon kann Teile mit Toleranzen von bis zu +/- 0.0001 Zoll herstellen – das ist 10-mal präziser als andere führende Dienste.
Weltklasse-Qualität
Zintilon liefert Luft- und Raumfahrtteile für führende Luft- und Raumfahrtunternehmen, deren Konformität mit dem Qualitätsstandard ISO9001 durch einen zertifizierten Prüfer bestätigt wurde. Außerdem umfasst unser Netzwerk bei Bedarf AS9100-zertifizierte Fertigungspartner.
Vom Prototyping zur Massenproduktion
Zintilon bietet CNC-Bearbeitung für Strukturhalterungen und zugehörige Montagekomponenten für Hersteller von Halbleiterausrüstung, Cluster-Tool-Lieferanten und Fabrikautomatisierungssysteme weltweit.
Prototyp-Strukturhalterungen
Erhalten Sie hochpräzise Prototypen von Strukturhalterungen, die Ihr endgültiges Design exakt nachbilden. Testen Sie die Tragfähigkeit, überprüfen Sie die Ausrichtungsgenauigkeit und stellen Sie die korrekte Passform sicher, bevor Sie mit der Serienproduktion beginnen.
- Rapid Prototyping mit hoher Präzision
- Enge Toleranzen (±0.005 Zoll)
- Testen Sie Design, strukturelle Integrität und Schnittstellenkompatibilität frühzeitig
EVT – Engineering-Validierungstest
Iterieren Sie schnell Prototypen struktureller Halterungen, um alle Belastungs- und Ausrichtungsanforderungen zu erfüllen. Erkennen Sie mögliche Probleme frühzeitig und gewährleisten Sie so einen reibungsloseren Übergang zur Halbleiterfertigung im großen Maßstab.
- Validieren der Prototypfunktionalität
- Schnelle Designiterationen
- Produktionsbereitschaft sicherstellen
DVT – Design-Validierungstest
Bestätigen Sie die Abmessungen und die strukturelle Leistung der Halterungen durch den Einsatz verschiedener Materialien. Dies gewährleistet Designpräzision und Ausgewogenheit der Geräteunterstützung vor der Massenproduktion.
- Bestätigen Sie die Konstruktionsintegrität und Tragfähigkeit
- Testen Sie mehrere Materialien und Konfigurationen
- Sicherstellung einer produktionsreifen Leistung
PVT – Produktionsvalidierungstest
Bewerten Sie die Produktion von Strukturhalterungen im großen Maßstab und identifizieren Sie wahrscheinliche Herstellungsprobleme vor der Vollproduktion, um Konsistenz und Effizienz aufrechtzuerhalten.
- Testen Sie die Produktionsfähigkeit im großen Maßstab
- Prozessprobleme frühzeitig erkennen und beheben
- Gewährleisten Sie eine gleichbleibende Teilequalität
Massenproduktion
Schnelle und präzise Herstellung von Strukturhalterungen für Reinraumumgebungen. Die Montage für Halbleiterwerkzeuge ist zuverlässig und die Lieferung an Fab-Integratoren erfolgt zeitnah.
- Konsistente Produktion in großen Stückzahlen
- Präzisionsbearbeitung für strukturelle Qualität
- Schnelle Bearbeitung mit strenger Qualitätskontrolle
Vereinfachtes Sourcing für
die Neue Energiebranche
Unsere Fertigungskapazitäten für Luftfahrtteile wurden von vielen börsennotierten Unternehmen bestätigt. Wir bieten eine Vielzahl von Fertigungsverfahren und Oberflächenbehandlungen für Luft- und Raumfahrtteile, darunter Titanlegierungen und Aluminiumlegierungen.
Entdecken Sie andere Halbleiterkomponenten
Entdecken Sie unser umfassendes Sortiment an CNC-gefrästen Halbleiterkomponenten, die auf Langlebigkeit und extrem enge Toleranzen ausgelegt sind. Von Präzisionswerkzeugen und Vorrichtungsteilen bis hin zu Vakuumkammern und Wafer-Handling-Systemen bieten wir maßgeschneiderte Lösungen für die fortschrittliche Halbleiterproduktion.
- Steckergehäuse
- Werkzeugvorrichtungen
Bearbeitungsmöglichkeiten für Halbleiter-Strukturhalterungen
Wir bieten CNC-gefertigte Strukturhalterungen für Halbleiterwerkzeuge an. Dabei nutzen wir modernste Ausrüstung für die mehrachsige CNC-Bearbeitung, Koordinatenmesswerkzeuge und ein erfahrenes Team für die Halbleiterbearbeitung. Wir entwickeln und fertigen Kammermontagehalterungen, Roboterhalterungen und Ventilblockhalterungen mit wichtigen Positionierungsfunktionen für moderne Strukturhalterungen, die auf Steifigkeit und präzise Ausrichtung setzen und gleichzeitig den bidirektionalen und planaren Zugriff mit dem Schraubenschlüssel ermöglichen, um die Partikelbildung zu minimieren.
Neben der Einhaltung der Reinraumstandards integrieren wir bei der Geräteintegration auch Spannungsarmglühen, Oberflächenveredelung, Belastungstests und Maßprüfungen. Jede Strukturhalterung, die über die Standards hinaus bearbeitet wird, gewährleistet einen unterbrechungsfreien Betrieb in der Halbleiterfertigung. Sie besteht aus Aluminiumlegierungen (6061-T6, 7075-T6), Edelstahl (304, 316L) oder eloxiertem Aluminium.
Neben der Einhaltung der Reinraumstandards integrieren wir bei der Geräteintegration auch Spannungsarmglühen, Oberflächenveredelung, Belastungstests und Maßprüfungen. Jede Strukturhalterung, die über die Standards hinaus bearbeitet wird, gewährleistet einen unterbrechungsfreien Betrieb in der Halbleiterfertigung. Sie besteht aus Aluminiumlegierungen (6061-T6, 7075-T6), Edelstahl (304, 316L) oder eloxiertem Aluminium.
Luft- und Raumfahrt
Materialien & Oberflächen
Materialien
Wir bieten eine breite Palette an Materialien, darunter Metalle, Kunststoffe und Verbundwerkstoffe.
Oberflächen
Wir bieten erstklassige Oberflächenbehandlungen, die die Haltbarkeit und Ästhetik der Teile für Anwendungen verbessern, die glatte oder strukturierte Oberflächen erfordern.
Spezialisierte Branchen
Sie können es gerne in den Zeichnungen hervorheben oder mit dem Verkauf kommunizieren.
Materialien für Strukturhalterungen
Als Anbieter von CNC-Bearbeitung unterstützen wir aktiv die Bearbeitung von Strukturhalterungen für Halbleiterwerkzeuge. Mit über 15 Strukturmetallen und reinraumkompatiblen Legierungen ermöglichen wir Rapid Prototyping und die Herstellung präziser Montagekomponenten mit optimalem Verhältnis von Festigkeit zu Gewicht.
Hohe Bearbeitbarkeit und Duktilität. Aluminiumlegierungen haben ein gutes Verhältnis von Festigkeit zu Gewicht, eine hohe thermische und elektrische Leitfähigkeit, eine geringe Dichte und eine natürliche Korrosionsbeständigkeit.
Preis
$ $ $
Vorlaufzeit
<7 Tage
Toleranzen
Bis zu ±0.003 mm
Maximale Teilegröße
3000 * 2200 * 1100 mm
Min. Teilegröße
2 * 2 * 2 mm
Stahl ist eine starke, vielseitige und langlebige Legierung aus Eisen und Kohlenstoff. Stahl ist stark und langlebig. Hohe Zugfestigkeit, Korrosionsbeständigkeit, Hitze- und Feuerbeständigkeit, leicht zu formen und zu gestalten. Seine Anwendungsgebiete reichen von Baumaterialien und Strukturbauteilen bis hin zu Bauteilen für die Automobil- und Luftfahrtindustrie.
Preis
$$$$$
Vorlaufzeit
<10 Tage
Toleranzen
Bis zu ±0.001 mm (Fräsen)
Maximale Teilegröße
3000 * 2200 * 1100 mm
Min. Teilegröße
2 * 2 * 2 mm
Edelstahllegierungen haben eine hohe Festigkeit, Duktilität, Verschleiß- und Korrosionsbeständigkeit. Sie lassen sich leicht schweißen, bearbeiten und polieren. Die Härte und die Kosten von Edelstahl sind höher als die von Aluminiumlegierungen.
Preis
$ $ $
Vorlaufzeit
<7 Tage
Toleranzen
Bis zu ±0.005 mm
Maximale Teilegröße
3000 * 2200 * 1100 mm
Min. Teilegröße
2 * 2 * 2 mm
Titan ist ein hochentwickeltes Material mit ausgezeichneter Korrosionsbeständigkeit, Biokompatibilität und einem guten Verhältnis von Festigkeit und Gewicht. Diese einzigartige Palette an Eigenschaften macht es zur idealen Wahl für viele technische Herausforderungen in der Medizin-, Energie-, Chemie- und Luftfahrtindustrie.
Preis
$ $ $
Vorlaufzeit
<10 Tage
Toleranzen
Bis zu ±0.005 mm
Maximale Teilegröße
3000 * 2200 * 1100 mm
Min. Teilegröße
2 * 2 * 2 mm
Sehr beständig gegen Meerwasserkorrosion. Die mechanischen Eigenschaften des Materials sind denen vieler anderer bearbeitbarer Metalle unterlegen, weshalb es sich am besten für Bauteile mit geringer Belastung eignet, die durch CNC-Bearbeitung hergestellt werden.
Preis
$$$$$
Vorlaufzeit
<10 Tage
Toleranzen
Bis zu ±0.005 mm
Maximale Teilegröße
3000 * 2200 * 1100 mm
Min. Teilegröße
2 * 2 * 2 mm
Messing ist mechanisch stärker und die Metalleigenschaften mit geringerer Reibung machen Messing für die CNC-Bearbeitung ideal für mechanische Anwendungen, die auch Korrosionsbeständigkeit erfordern, wie sie beispielsweise in der Schifffahrtsindustrie vorkommen.
Preis
$ $ $
Vorlaufzeit
<10 Tage
Toleranzen
Bis zu ±0.005 mm
Maximale Teilegröße
3000 * 2200 * 1100 mm
Min. Teilegröße
2 * 2 * 2 mm
Nur wenige Metalle verfügen über die elektrische Leitfähigkeit von Kupfer, wenn es um CNC-Fräsmaterialien geht. Die hohe Korrosionsbeständigkeit des Materials hilft, Rost zu verhindern, und seine Wärmeleitfähigkeit erleichtert die CNC-Bearbeitungsformung.
Preis
$ $ $
Vorlaufzeit
<10 Tage
Toleranzen
Bis zu ±0.005 mm
Maximale Teilegröße
3000 * 2200 * 1100 mm
Min. Teilegröße
2 * 2 * 2 mm
Aufgrund der geringen mechanischen Festigkeit von reinem Magnesium werden hauptsächlich Magnesiumlegierungen verwendet. Magnesiumlegierung hat eine geringe Dichte, aber eine hohe Festigkeit und gute Steifigkeit. Gute Zähigkeit und starke Stoßdämpfung. Geringe Wärmekapazität, schnelle Erstarrungsgeschwindigkeit und gute Druckgussleistung.
Preis
$$$$
Vorlaufzeit
<7 Tage
Toleranzen
Bis zu ±0.005 mm
Maximale Teilegröße
3000 * 2200 * 1100 mm
Min. Teilegröße
2 * 2 * 2 mm
Eisen ist ein unverzichtbares Metall in der Industrie. Eisen ist mit einer kleinen Menge Kohlenstoff legiert – Stahl, der nach der Magnetisierung nicht leicht entmagnetisiert werden kann und ein ausgezeichnetes hartmagnetisches Material sowie ein wichtiges Industriematerial ist und auch als Hauptrohstoff für künstlichen Magnetismus verwendet wird.
Preis
$$$$$
Vorlaufzeit
<10 Tage
Toleranzen
Bis zu ±0.005 mm
Maximale Teilegröße
3000 * 2200 * 1100 mm
Min. Teilegröße
2 * 2 * 2 mm
Zink ist bei Raumtemperatur ein leicht sprödes Metall und hat nach Entfernung der Oxidation ein glänzend-gräuliches Aussehen.
Preis
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Vorlaufzeit
<10 Tage
Toleranzen
Bis zu ±0.005 mm
Maximale Teilegröße
3000 * 2200 * 1100 mm
Min. Teilegröße
2 * 2 * 2 mm
Lassen Sie uns gemeinsam etwas Großes schaffen
FAQs: Strukturhalterungen für Halbleiteranwendungen
Strukturhalterungen sind Komponenten, die zur präzisen Montage, zum Herstellen fester Verbindungen und zur Sicherstellung der Ausrichtung zwischen Gerätemodulen in Verarbeitungssystemen für Halbleiter dienen. Dazu gehören Kammerhalterungen mit Schwingungsisolierung zur Unterstützung von Prozessmodulen mit einem Gewicht zwischen 100 und 1000 Kilogramm, Roboterhalterungen zur Positionierung von Wafer-Handling-Systemen mit einer Wiederholgenauigkeit von 0.1 Millimeter und Ventilblockhalterungen zur Kombination von pneumatischen und Vakuumverteilungssystemen. Es gibt Geräteschnittstellenhalterungen zur Verbindung von Cluster-Tool-Modulen durch kinematische Kopplung, Schleusenhalterungen zur Unterstützung von Schnellzyklus-Transferkammern, Deckenhalterungen zur Verlegung von Versorgungs- und Abluftleitungen sowie Spezialhalterungen mit IBC-Erdbebensicherheit und Erdbebensicherung, einstellbarer Ausrichtung mit präziser Unterlegscheibe und modularen Schnelltrennhalterungen zur schnellen Neukonfiguration von Werkzeugen.
Aluminium 6061-T6 und 7075-T6 bieten hohe Leistung trotz ihrer Masse und Leichtbauweise, hervorragende Bearbeitbarkeit für starre Komponenten, integrierte und komplexe Designfunktionen, gute Beständigkeit gegen Chemikalien und Korrosion in Reinräumen, Wärmeleitung zur Wärmeableitung und ein hervorragendes Preis-Leistungs-Verhältnis. Edelstahl 304 und 316L bieten Korrosionsbeständigkeit gegenüber Prozesschemikalien und Desinfektionsmitteln, behalten ihre strukturelle Steifigkeit bei hohen strukturellen Belastungen (+500 kg), erreichen eine elektropolierte Oberflächenveredelung mit Ra < 0.4 Mikrometer und sind über 20 Jahre lang antimagnetisch. Eloxiertes Aluminium bietet eine verbesserte matte Oberfläche, verbesserte Korrosionsbeständigkeit, glatte und saubere, ISO 14644-zertifizierte Oberflächen mit partikelfreiem Reinraum und geringer elektrischer Leitfähigkeit, wo erforderlich.
Mittels mehrachsiger CNC-Fräsbearbeitung fertigen wir Halterungen mit Gewichtsausgleichstaschen, Verstärkungsrippen und Montagevorsprüngen und optimieren das Verhältnis von Festigkeit zu Gewicht. Koordinatenbohrungen ermöglichen die Positionierung von Bolzenmustern mit einer Genauigkeit von ±0.005 Zoll für Standard- und kinematische Halterungen. Das Bohren von Passstiftlöchern auf 0.01 Millimeter ermöglicht eine wiederholbare Ausrichtung. Gewindeschneiden, Senken für vertiefte Bereiche und Senken für bündige Befestigungselemente runden die Schraubenlöcher für die Montage und die vertieften Bereiche für metrische Schraubenlöcher ab. Spannungsarmglühen, Planschleifen und Motorschleifen runden unsere Kontrollfunktionen ab.
Bei Strukturhalterungen erreichen wir Abmessungen und Toleranzen wie beispielsweise die Ausrichtung von Referenzflächen für die kinematische Kopplung unter ± 0.005 Zoll in Bezug auf Ebenheit, die trennenden Montageflächen einer Halterung unter 0.010 Zoll in Bezug auf Rechtwinkligkeit, Passstiftlöcher unter ± 0.002 Zoll in Bezug auf die Position und Oberflächen unter 3.2 Ra-Mikrometer. Die Gesamtabmessungen einer Halterung werden für die Integration in ein System unter ± 0.015 Zoll gehalten, Schraubenlöcher für die Montage werden als Kontrolle für Standardgeräteschnittstellen unter ± 0.005 Zoll ausgewuchtet, kinematische Kopplung und Montageflächen mit einer Anschlagfläche für 3.2 Ra-Mikrometer werden auch für ausgewuchtete Strukturen verwendet.
Natürlich führen wir Rapid Prototyping für die Entwicklung von Halbleiterwerkzeugen mit Finite-Elemente-Analyse und strukturellen Belastungstests durch, produzieren Kleinserien für spezialisierte Prozessausrüstung und F&E-Systeme mit 10 bis 100 Halterungen und produzieren Mittel- bis Großserien für kommerzielle Halbleiterwerkzeuge, die jährlich Hunderte bis Tausende von Halterungen umfassen. Alle Halterungen werden einer vollständigen Maßprüfung und Belastungstests unterzogen, um die Designkapazität und die Oberflächenbeschaffenheit zu validieren und die Designoberflächenbeschaffenheit zu überprüfen. Es wurden Partikelerzeugungstests durchgeführt, um die Einhaltung der ISO 14644-Normen zu überprüfen. Die Materialien wurden zertifiziert und die Zusammensetzung bis auf die Elementebene überprüft.
Alle Komponenten werden mit Qualitätsmanagementsystemen nach ISO 9001 hergestellt und verfügen über eine vollständige Rückverfolgbarkeit, die Überprüfung aller Konstruktionsparameter und Abmessungen, eine Dokumentation der strukturellen Belastung, eine Validierung der Oberflächenbeschaffenheit und die Einhaltung der SEMI-Gerätestandards für eine Tragfähigkeit zwischen 50 und 2000 kg, eine Ausrichtung mit 0.1 mm für eine präzise Positionierung der Geräte, eine Partikelerzeugung unter 0.1 Partikeln pro Kubikfuß und eine Lebensdauer von 15 Jahren bei kontinuierlichem Fabrikbetrieb.
Zu den Oberflächenbehandlungen gehören das klare Eloxieren von Aluminium, wodurch eine Beschichtungsstärke von 15 bis 25 Mikrometern gemäß ASTM B580 zum Korrosionsschutz und für partikelfreie Oberflächen erreicht wird, das Harteloxieren für Verschleißfestigkeit an Montageschnittstellen, wodurch eine Härte von über 65 HRC erreicht wird, das Elektropolieren von Edelstahl, wodurch 10 bis 30 Mikrometer entfernt werden und ein Ra-Wert von unter 0.4 Mikrometern für die Kompatibilität mit Reinräumen der Klasse 1 erreicht wird, die Pulverbeschichtung in Reinraumweiß für versiegelte Oberflächen und spezielle Behandlungen, darunter Passivierung zur Verbesserung der Korrosionsbeständigkeit von Edelstahl, Kugelstrahlen für ein einheitliches Erscheinungsbild und schwarzes Eloxieren für nicht reflektierende Oberflächen in optischen Geräten.
Die Lieferzeit variiert stark. Für Standard-Brackets beträgt die Lieferzeit 10–16 Werktage, für komplexe Brackets 4–6 Wochen. In der Zwischenzeit können Sie die Gerätekonstruktion in die nächste Phase bringen, da die Brackets für die Passformprüfung in 7–10 Tagen vorliegen!
Absolut. Wir arbeiten an einer Reihe kundenspezifischer Hochleistungshalterungen zur Halterung und Unterstützung von Halbleiterverarbeitungskammern mit einem Gewicht von 1500 Kilogramm und einer Auslenkung von 0.1 mm. Darüber hinaus fertigen wir kinematische Halterungen mit einer Dreipunktgeometrie, um eine Positionswiederholgenauigkeit von 0.01 mm für präzises optisches Stacking zu erreichen. Neben der Schwingungsisolierung und -dämpfung über 10 Hz zur Erzielung einer Übertragungsreduzierung von 1 Prozent arbeiten wir auch an erdbebensicheren Halterungen mit integrierter Elastomer-Erdbebendämpfung der IBC-Zone 4. Weitere Designs umfassen modulare Schnelltrennhalterungen, die eine Neukonfiguration des Werkzeugs in weniger als 30 Minuten ermöglichen, und Spezialkonstruktionen mit integrierten thermisch isolierten Halterungen zur Vermeidung von Wärmeübertragung zwischen Modulen, Halterungen zur einstellbaren Positionierung und integrierten Strukturhalterungen zur Unterstützung von Kabelmanagement, Versorgungsleitungen und Neuzuordnung von Versorgungsleitungsquerschnitten.
Es gibt keine Platzierungsfehler bei den Montagelöchern, sodass die Geräte an den festgelegten Schnittstellen, einschließlich den SEMI-Standard-Footprints, ausgerichtet werden. Dies verhindert Änderungen vor Ort und ermöglicht sehr schnelle Installationen. Flache Referenzflächen innerhalb von 0.005 Zoll prüfen Oberflächen, die sich berühren und Lasten gleichmäßig verteilen, und verhindern so eine Fehlausrichtung zwischen Arm und Gerät. Falsch angegebene Strukturhalterungen führen dazu, dass die Ausrichtung nachteilig wird. Flache Referenzflächen innerhalb von 0.005 Zoll prüfen Oberflächen, die sich berühren und Lasten gleichmäßig verteilen, und verhindern so eine Fehlausrichtung zwischen Arm und Gerät. Falsch angegebene Strukturhalterungen führen dazu, dass die Ausrichtung nachteilig wird. Integrierte strukturelle Steifigkeit mit gemusterten Rippen und optimierten Querschnitten verhindert ein Nachlassen der Luft unter Nennlasten, während die Geräte während der Wafer-Robotik- und Verarbeitungsbewegungen gewartet werden. Glatte Oberflächen mit einem Ra-Wert unter 3.2 Mikrometer und einer Rate von unter 0.1 Partikeln pro Kubikfuß erfüllen die Reinraumstandards der ISO-Klasse 5, bei denen Verunreinigungen zu Ertragsverlusten führen. Hochwertige Materialien bieten Dimensionsstabilität bei Temperaturwechseln von 15 bis 30 Grad und Korrosionsbeständigkeit gegenüber Reinraumdesinfektionsmitteln.
Eine zuverlässige Gerätemontage unterstützt die Halbleiterfertigung innerhalb der strukturellen Integrität, indem die Ausrichtung innerhalb von 0.1 Millimetern gehalten wird, eine Tragfähigkeit von 50 bis 2000 Kilogramm je nach Anwendung, Reinraumkompatibilität, die den Partikelanforderungen der ISO-Klassen 1 bis 100 entspricht, und eine Lebensdauer von über 15 Jahren in 200-mm-, 300-mm- und 450-mm-Waferfabriken, die fortschrittliche Logik-, Speicher- und Leistungshalbleitergeräte verarbeiten.
Eine zuverlässige Gerätemontage unterstützt die Halbleiterfertigung innerhalb der strukturellen Integrität, indem die Ausrichtung innerhalb von 0.1 Millimetern gehalten wird, eine Tragfähigkeit von 50 bis 2000 Kilogramm je nach Anwendung, Reinraumkompatibilität, die den Partikelanforderungen der ISO-Klassen 1 bis 100 entspricht, und eine Lebensdauer von über 15 Jahren in 200-mm-, 300-mm- und 450-mm-Waferfabriken, die fortschrittliche Logik-, Speicher- und Leistungshalbleitergeräte verarbeiten.
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